Festoは来年100周年！
これからもオートメーションの世界を先導していきます。
- 空気圧でμm単位の位置決めを実現するマイクロポジショニングのデモ
- 空気圧による制御で半導体ウエハを精密に昇降し、将来的には破損を防ぐ機能も有するピンリフト
- チャンバー周辺のスリットバルブ、ゲートバルブ等をソフト制御しパーティクルを抑制する比較デモ
- 半導体でメジャーになりつつあるEtherCATだけでなく、あらゆるプロトコルにつながるコネクティビティのパネル展示
- チラー用の流体を比例制御するための流体制御バルブの体験
- 小型軽量省電力で高流量を実現したMFC(マスフローコントローラ)