堀場エステック

京都市南区上鳥羽鉾立町,  京都府 
Japan
https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/
  • 小間番号4320

分析×制御でつくる、持続可能な未来

HORIBAは、持続可能な社会の実現に向けた、先端材料・半導体分野への革新的なソリューションを提案しています。半導体製造プロセスにおける制御とモニタリングを中心として、先端材料の研究開発の最先端ソリューションの提供から、排ガスや廃液監視などのファシリティの管理に至るまで、多彩なアプリケーションでお客様のオペレーションをサポートします。


 出展製品

  • レーザーガス分析計 LG-100 Series
    高感度かつ高速なリアルタイム測定を実現したレーザーガス分析計です。...

  • 半導体製造のエッチングプロセスで発生する排ガス成分SiF4をリアルタイムに測定し、微量なSiF4の変化からエンドポイントの検出が可能です。
  • 全自動薄膜検査装置 Xtrology
    全自動薄膜検査装置は、ウェハの膜厚計測や組成・均一性評価、欠陥分析などの重要な検査を1台で行うことができる装置です。...

  • シリコンウェハおよび化合物半導体ウェハの欠陥は、半導体デバイスの品質や性能に直結するため、
    多岐にわたる綿密な検査が行われており、正確かつ効率的な対応が求められます。
    全自動薄膜検査装置は、信頼性の高い独自のセンサーを搭載し、非破壊・非接触の自動測定を可能にしたこのシステムにより、
    ウェハに関する膜厚・結晶化率・欠陥・異物検出といった様々な重要パラメーターをタイムリーに提供します。
  • 差圧式マスフローモジュール D700 Series
    高速・高精度を極めたマスフローモジュールです。...

  • 高精度な流量制御、高速応答、機差低減を実現することにより、歩留まり・均一性向上のニーズに応え、プロセスの最適化に貢献しています。
  • キャパシタンスマノメーター VG-200S
    オールメタル構造のキャパシタンスマノメーターです。...

  • 自己温調型の中でも最小クラスの隔膜式真空計であり、独自の電極構造によって高い精度と安定性を実現しています。
  • 液体材料気化システム MV-2000 Series
    純水や液体材料を気化(ガス化)する気化システムです。...

  • 半導体プロセスで使用される"液体材料:High-k材料など"の安定気化システムとして最適なモデルです。