分析×制御でつくる、持続可能な未来
HORIBAは、持続可能な社会の実現に向けた、先端材料・半導体分野への革新的なソリューションを提案しています。半導体製造プロセスにおける制御とモニタリングを中心として、先端材料の研究開発の最先端ソリューションの提供から、排ガスや廃液監視などのファシリティの管理に至るまで、多彩なアプリケーションでお客様のオペレーションをサポートします。
半導体製造の露光工程に欠かせない異物検査装置のPDシリーズは、1984年の発売以来、お客様のニーズに応えながら進化を続け、今年で40年の節目を迎えました。
新製品PD10-EXには、好評をいただいている従来機PD10をベースに異物除去機能を搭載し、検出から除去まで１台で完結することが可能となりました。さらに、レティクル／マスクの自動搬送に対応するユニットを自社開発し、半導体製造プロセスの効率化と歩留まり向上に貢献します。