堀場アドバンスドテクノ

京都市南区吉祥院宮の東町,  京都府 
Japan
http://www.horiba.com/jp/horiba-advanced-techno/home/
  • 小間番号4320

分析×制御でつくる、持続可能な未来

HORIBAは、持続可能な社会の実現に向けた、先端材料・半導体分野への革新的なソリューションを提案しています。半導体製造プロセスにおける制御とモニタリングを中心として、先端材料の研究開発の最先端ソリューションの提供から、排ガスや廃液監視などのファシリティの管理に至るまで、多彩なアプリケーションでお客様のオペレーションをサポートします。


 出展製品

  • 光ファイバ式熱リン酸濃度モニター CS-620F
    光ファイバ式熱リン酸濃度モニター CS-620F 冷却不要で高温リン酸のリアルタイム測定が可能なリン酸濃度モニターです。...

  • 半導体製造プロセス、主に3次元NAND型フラッシュメモリーのSiN層※1エッチングプロセスで使用するリン酸の濃度管理に最適です。

    ※1 SiN層:シリコンウエハ上などに形成されるシリコンと窒素化合物の薄膜
  • 薬液濃度モニター CS-700
    薬液濃度モニター CS-700 半導体製造工程で使用される混合液の各成分濃度を高精度に測定可能な薬液濃度モニターです。...

  • 商標薬液をはじめ、多成分薬液のコントロールに最適です。半導体製造工程の品質管理の強化や薬液管理の精度向上に貢献します。
  • 光ファイバ式薬液濃度モニター CS-600
    光ファイバ式薬液濃度モニター CS-600 洗浄やエッチングなど半導体製造工程で使用される薬液を測定する光ファイバ式薬液濃度モニターです。...

  • 最先端ウェットプロセスに必要不可欠な高温薬液のダイレクト測定を実現。“迅速・安定・省スペース”を実現し、薬液管理の効率化・高精度化が可能です。
  • 低濃度HF/HCl/NH3濃度モニター HF-960M
    低濃度HF/HCl/NH3濃度モニター HF-960 低濃度のフッ酸・塩酸・アンモニアの高精度測定に最適な濃度モニターです。...

  • 耐食性に優れたセンサーにより、低濃度域のフッ酸・塩酸・アンモニアをそれぞれ高精度かつ高速応答で測定するので、ワンバス洗浄や枚葉洗浄に最適です。

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