主にウェーハやハードディスクを洗浄するために、ノズル先端から放射された流水に超音波を重畳させて被洗浄物の洗浄をするポイントタイプの流水式超音波洗浄機です。放射された流水は超音波の伝播と同時に超音波作用で剥離した汚れの輸送媒体として機能します。
流水式のためパーティクルの再付着がなく、サブミクロンのパーティクル除去率が高いという特長があります。枚葉処理が可能なため、生産ラインへの組込みが容易です。
用途・使用液に合わせて豊富なバリエーションから選択できます。
定電力デジタル発振器採用のパルスジェット洗浄機。
水温・周囲温度の変化に対応し、安定した超音波を発振します。
振動子の駆動周波数は、振動子の電圧・電流の位相を一定にするよう追従します。出力は、振動子への供給するエネルギーを一定にするため定電力で制御しています。周波数の追従と定電力制御が協調することにより、振動子からの超音波発振を安定化するとともに、発振器の損失を抑えます。
ノズル交換時の発振器の調整が不要
同一仕様のノズルとケーブルに交換する場合、発振器との調整が不要でメンテナンスが容易です。
出力監視
RS422Aに対応し、外部出力可変が可能です。電圧出力値を4-20mAでも出力します。