みずほリサーチ＆テクノロジーズ

カナダ PEER Group®社製SDRPlusは、主に半導体・液晶製造工場で使用されているSECS・HSMSスタンダードに準拠した通信インターフェースを構築するための組み込み型パッケージソフトウェアです。
半導体・液晶製造装置やステーションコントローラ、材料搬送システムなどにSDRPlusを組み込むことで、SECS・HSMS規格といった業界標準規格に対応した通信インターフェースを追加のハードウェア無しで構築することができます。
64bit化とシステムアーキテクチャの刷新により従来のSDRTM通信ソフトウェアと比較し、4～200倍高速(注)かつ大容量(SDR比2倍)のSECSメッセージ送受信が可能です。

【主な特徴】

C、C++、C#言語のAPIコールによってSECS・HSMS通信インターフェースを構築することができます。

カナダ PEER Group®社製GWGEMPlusは、GEMスタンダードに対応するための装置組込型パッケージソフトウェアであるGWGEMを64bitにブラッシュアップした新しいソフトウェアです。64bit化によりPC本来のパフォーマンスを生かした高速かつ大容量のホスト通信が可能となりました。
GWGEMPlusはGWGEMとAPIレベルで互換性があるため64bit版WindowsやLinuxへのマイグレーションを短期間で完了することができます。
また高速化されたHSMS通信ドライバーを含むGEMドライバーをユーザアプリケーション内でインスタンス化することが可能になりました。この新しいオールインワンプロセス構成を採用すると高速化の恩恵をフルに享受でき、またシステム構成がシンプルになるためプロセス間の面倒な同期処理が不要となるなどシステム開発の工数削減や多層システム構成に起因するトラブルの抑制に寄与します。

【主な特徴】

従来のGWGEMソフトウェアとAPIレベルで互換性を持つ64bit対応GEM通信ソフトウェア
■ 64bit対応の新しいHSMS通信エンジンを適用し、より高速なSECSメッセージの送受信が可能
■ 最大4GBのSECSメッセージに対応
■ ログ形式がJSONとなりログ出力レベルの指定が可能
■ GCDファイルやCFGファイルの互換性あり

カナダ PEER Group®社製PEER Tool Orchestrator (PTO) は、半導体製造装置に組込むことで装置内のツール・デバイスの制御を始め、操作パネル、ウェハのハンドリングやスケジューリング、工場ホストとのSEMI通信メッセージ機能の実装を実現することが可能となる装置統合制御ソフトウェアです。
  半導体製造装置はジョブ管理、材料移送、材料の処理スケジューリング、レシピ管理、装置操作画面(GUI)、工場ホストとのSECS通信といった様々な機能の実装が必要となります。PTOはこれら装置内部で必要となるさまざまなソフトウェアを一つのフレームワーク上で構築するための統合ソフトウェアで、PTOの導入により、装置内ハードウェア制御、仕掛り制御、工場ホストとのSECS通信機能実装などのわずらわしさから開放されます。

【主な特徴】
■ ニーズに合わせた製品群
　-300mm装置オンライン向け
　-200mm/PV装置オンライン向け
　-ベンチトップ型装置向け(オンラインEFEMなし)
■ 選択可能なホスト通信・EDA
　-ホスト通信なし
　-SECS・GEM・GEM300
　-EDA
■ 装置仕様にあわせた操作パネル(E95 準拠)
■ ウェハ搬送のスケジューリング
　-搬送ロボット、真空制御
　-デッドロックの検出
■ ハードウェアドライバーライブラリ・フレームワーク
　-実証済みの各商用ハードウェアドライバー
　-迅速な新しいドライバーの作成
■ テストを容易にする装置シミュレータ
　-機器をテストするためのシミュレータを提供
　-PFAT™と組み合わせての連動テストが可能
■ 豊富なユーティリティ（ログ）とセキュリティ
　-トラブルを迅速に確認できるログビューア
　-Windows®セキュリティと連動したユーザー管理

カナダ PEER Group®社製PEER Factory Station Controller (PFSC™) は、ステーションコントローラー構築のためのソフトウェアソリューションです。半導体工場側で各装置とPFSCを接続することで、上流工場システム(MES など)と装置間のコミュニケーションレイヤー・通信経路を構築することが可能です。
  上流工場システムと装置間のコミュニケーションレイヤーを構築することで、生産ラインをオンライン化し、わずらわしい手作業での装置への製造指示入力から開放されます。また、装置からの製造データを、オンライン経由で上流工場システムやデータベースへ連携し、活用することで、生産性や歩留の向上に寄与します。

【主な特徴】
■ 様々なホスト通信、プロトコルに対応
-SECS/GEM
-GEM300
-EDA (Interface-A)
-Serial
-COM
-TCP/IP
-MS MQ
-カスタムインターフェース
■ PLCとの直接通信機能
■ 上位サブシステムとの接続（SPC、APC、RMSなど）
■ データ分析のためのデータ収集・保管機能
-Postgre SQL™
-SQL Server®
■ 装置シミュレータによる実装置接続前のテスト実施
■ 装置の通信仕様書読込み機能による作業軽減
-通信仕様書から装置情報定義ファイルを自動生成
-通信仕様書から装置インターフェースを自動生成
-通信仕様書からビジネスロジックテンプレートを自動生成
■ カスタマイズ可能なGUIによるデータ、処理状況モニタリング

　カナダ PEER Group®社製は、装置内のツールや各種デバイスとホストや各種のクライアントとの間をつなぐMicrosoft .NETに対応した次世代のマルチ通信基盤ソフトウェアです。EIBを利用することで・SECS・HSMS・GEM・GEM300・EDA・SEDD規格といった業界標準規格に対応した装置インターフェースを構築することができます。
みずほリサーチ＆テクノロジーズの技術サポートスタッフが、使用方法習得トレーニングと技術サポートサービスを通して装置インターフェースの実装を支援いたします。

【主な特徴】

■ 最新のSEMIスタンダード,SECS/GEM,GEM300, PV2,EDA,SEDDに準拠
■ OPC, .NET, COM, MQTTなど多様なプロトコルに対応
■ Microsoft .NETの開発環境に対応したインターフェースクラスを用意
■ 装置モデルの作成から各種設定、オブジェクト参照、ログ参照など、豊富なユーティリティを標準で用意