Leadchemは、高純度前駆体キャニスターの専門メーカーです。どうぞお立ち寄りください!
Leadchemは2018年に設立され、高純度化学品業界へのお客様に対して、高い信頼性と高度なカスタマイズを誇る製品およびサービスを提供している会社です。
当ブースでは、高純度固体前駆体キャニスターと高純度液体前駆体キャニスターをご紹介いたします。これらのキャニスターは、半導体産業において要求される高い純度基準を満たすよう設計されており、固体および液体材料の安全かつ効率的な取り扱いを実現します。特に、腐食性のある材料に対しても優れた耐久性を持ち、安定した品質を提供します。さらに、パイロットプラントモデルも展示し、実際の製造プロセスを模擬した施設で、当社の技術がどのように運用されるかをご覧いただけます。これにより、製品の性能や効率性を実感していただけると思います。
化学品:ALCl3、HfCl4、ZrCl4等、純度99.999%以上の化学品を収納できます
内部EP処理、Ra≤0.25μm
漏れ率≤1.0×10-10 mbar·L/s(または選択可能なバルブの漏れ率基準を参考する)
出荷時検査できる項目:圧力、気密性ヘリウム漏れ検査、水分、粒子、酸素含有量