村田機械

中央区日本橋人形町,  東京都 
Japan
https://www.muratec.jp/cfa/
  • 小間番号6036


クリーンルーム及び一般環境向けの自動搬送設備メーカーです。搬送自動化をご検討中の方やお困りの方はぜひお立ち寄りください。

弊社は、クリーンルーム内の工程間の自動搬送設備(通称AMHS:Autmated Material Handring System)及び一般環境向けの自動搬送設備をラインナップし、お客様一人一人のご要望に沿った提案をさせていただける自動搬送設備メーカーです。本展示会では、天井走行式無人搬送車(OHT)、ストレージシステム(OHB&ストッカー)などの自動搬送設備に関する展示をしています。

近年では前工程搬送に加え、後工程搬送に関する製品開発にも取り組み、多様な搬送物に対応できるよう取り組んでいます。

製品単位でなく、半導体工場全体の自動搬送システムに関する展示もご用意しておりますので、クリーンルーム内の搬送自動化をご検討中の方やお困りの方はぜひ弊社ブースへお立ち寄りください。


 出展製品

  • OHT(Overhead Hoist Transport)​​
    天井軌道を走行し、ベルト駆動で上下するホイスト機構により保管設備や製造装置のロードポートにダイレクトにアクセスする自動搬送装置です。...

  • 天井軌道を走行し、ベルト駆動で上下するホイスト機構により保管設備や製造装置のロードポートにダイレクトにアクセスする自動搬送装置です。
  • Carrier Stocker
    クリーンルーム内の一時保管庫。ウエハソーターを直接ドッキングし、クレーンロボットによる直接移載が可能。...

  • クリーンルーム内の一時保管庫。ウエハソーターを直接ドッキングし、クレーンロボットによる直接移載が可能。
  • Panel FOUP OHT
    パッケージング工程で使用される500~600mm角パネル用FOUPを搬送するOHT。300mmOHTと同一軌道で走行・運用でき、前工程・後工程のシステム共通化が可能。...

  • パッケージング工程で使用される500~600mm角パネル用FOUPを搬送するOHT。300mmOHTと同一軌道で走行・運用でき、前工程・後工程のシステム共通化が可能。
  • AMR​(Autonomous Mobile Robot)
    自律走行の安全性を追求した搬送ロボット台車。搬送カートの下に潜り込んで搬送するロボットで、さまざまな搬送物の形態に対応した専用カートによりフレキシブルな搬送が可能。...

  • 自律走行の安全性を追求した搬送ロボット台車。搬送カートの下に潜り込んで搬送するロボットで、さまざまな搬送物の形態に対応した専用カートによりフレキシブルな搬送が可能。
  • Bare Wafer Stocker​(CDWX)​​
    サンプルウエハなどのNon Product Waferや、多品種少量生産ラインでの工程間待機中のウエハを専用のケース(セル)で高密度に保管するシステム。...

  • サンプルウエハなどのNon Product Waferや、多品種少量生産ラインでの工程間待機中のウエハを専用のケース(セル)で高密度に保管するシステム。