特長
・ 半導体製造装置のライフサイクルをエンジニアリング力でサポートします。
・ お客様のご依頼を受けて、経験豊富な技術員が日本国内を中心に、迅速に対応します。
・ 装置機齢が高く、部品入手が困難なユニットも、当社の技術力で修理・改造を行い、信頼性向上を図ります。
・ 再生装置を『高品質』・『低価格』・『短納期』でご提供します。
基本サービス
■ 保守メンテナンスサービス
稼働率の向上、装置の維持・管理を追求し、ご提案します。
＜主なサービス＞
・ 定期点検・トラブル対応などのフィールドサービス、予防保全、常駐保守、装置解体・移設作業、付帯設備サービス など
■ リペアサービス
長年の経験による信頼のリペア技術をご提供します。
＜取扱品目＞
・ プリント基板、各種電源ユニット、ＲＦ関連機器、マスフローコントローラ、熱交換器など
■ 装置再生サービス
実績が証明する優れた技術力をご提供します。
＜取扱品目＞
・ ＣＶＤ装置、ＰＶＤ装置、露光装置、エッチング装置 など
特種サービス
■ 装置信頼性向上サービス
旧型装置・機器類を豊富なメニューで信頼性向上を図ります。
＜特長＞
・ 部品入手不可等の理由で修理できない機器類については、代替技術を活用
・ 修理を基本とすることで費用を抑え、代替技術で信頼性を向上
■ オンライン通信サービス
製品着工処理をリモート制御により自動化します。
＜特長＞
・ お客様の生産管理システムと装置を仲介、コマンド転送によるリモート制御
・ ＡＩ異常判定、データ収集など、関連製品との連携
■ その他
当社は、オーク製作所の販売代理店として半導体用露光装置を取り扱っております。