安田工業

浅口郡,  岡山県 
Japan
https://ypos.jp/
  • 小間番号5902

高精度工作機械メーカが作る、動特性を追求した高精度XYステージを出展

・リニアガイドの性能を極限まで追求!

・動特性を強化し、速度安定性や多軸同期精度が求められるプロセスに最適!

・3Dパッケージング技術において重要な役割を果たす貼り合わせ・接合や検査工程など、積載物に加重がかかる場合にメリットを発揮。

安田工業株式会社は高精度工作機械を祖業とし、"YASDA"ブランドのマシニングセンタは世界中のユーザーに選ばれています。

当社は2000年より半導体製造装置・FPD製造装置向けの受託製造を展開。リニアガイドの特性を活かした高精度・高剛性XYステージの受託製造を行っています。

半世紀以上におよぶ工作機械の設計・製造ノウハウを活かし、半導体製造装置分野向けの受託製造でもお客様より精度・品質・対応力で高い評価をいただいています。

当社ブースでは高精度・高剛性・高追従の半導体製造装置向けXYステージを展示いたします。皆様のご来場をお待ちしております。


 出展製品

  • 半導体製造装置向けXY精密ステージ
    繰り返し位置決め精度に加え、等速性や2軸以上の同期精度などの動的な精度・安定性を強化したXYステージ...

  • 高い繰り返し位置決め精度と動特性の両立を目指した半導体製造装置向けステージ。
    精密ステージの基本となる繰り返し位置決め精度に加え、ローリング・ピッチング精度、低ウェービングを追求。
    徹底したサーボ調整により運動性能も追求したハイエンドステージです。
    ※当ユニットはデモンストレーション機です。
    お客様の仕様・ご要望に応じてカスタマイズいたします。