弊社は微差圧計メーカです。 １９６１年に国産初の微差圧計を開発して以来、パイオニアとして国内トップシェアを誇っています。
弊社の製品は数多くの半導体製造装置メーカーに採用され、その高精度な測定と信頼性で業界の標準を確立しています。10Pa以下の測定を行うことも可能であるため、クリーンルーム環境や高精度な製造プロセスに欠かせない圧力制御を提供し、最先端の半導体製造をサポートいたします。
SEMICON Japanでは実際に製品を手に取ってご覧いただければと思いますので、ぜひ弊社ブースにお立ち寄りください。
自社開発のMEMSセンサを搭載しており、0~10Paといった極超低圧レンジにも対応。 製品サイズは業界最小クラス（30㎜×30㎜）であるため、設置における省スペース化に貢献いたします。 また、表示部にはLCDを採用することで視認性にも優れています。