ポーラスチャックメーカの吉岡精工です！ チャックの事であれば、何でもご相談下さい。 皆様のご来場を心よりお待ちしております。
弊社の製作している様々なタイプのポーラスチャックを余すことなくご紹介いたします。
標準的なポーラスチャックはもちろん、加熱機能のついたホットバキュームチャック(HoVaC)
ポーラス面を発光させることでワークの輪郭が浮かび上がる面発光ポーラスチャックなど
真空チャックのことなら弊社にお任せください。
当日はサンプル品での吸着デモを行う他、手で触って頂ける商品を多数展示致しますので
是非皆様のご来場を心よりお待ちしております。
ポーラスチャックの多くはダイシングソーをはじめ各種半導体製造装置や検査装置に組み込まれます シリコンウェハはもちろん、近年ではフィルムやフレキシブル基板(FPC)、紙などありとあらゆる薄物ワークの吸着固定を実現します
吉岡精工のポーラスチャックはお客様のご要望に合わせたオーダーメイド製作を基本としております
「薄いワークを加熱したいけど、固定をしないと反ってしまい、正確な測定や加工ができない……」といったお悩みを解決します。
ヒーターを内蔵することにより、最大250℃までの加熱機能を追加したポーラスチャックなので、吸着と加熱を同時に可能です。
プレート状の部品の積層構造となっており、加熱時の熱変形を最小限に抑える工夫を施しています。
光源を内蔵することにより、発光機能を追加したポーラスチャックです。
「吸着固定＋発光」により多層ウェハの内部パターン検査や、検査ワークのエッジ検査の精度向上などに貢献します。 点発光でなく全面発光となるため、明暗のばらつきを最小限に抑えます。
ウェハのエッジを検査する用途で、外周部のみ発光するエリア分け等のカスタム対応も可能です。 角型形状での製作や発光色の変更（白、赤、青）も対応可能です。