ワイエイシイメカトロニクス

昭島市武蔵野,  東京都 
Japan
http://www.yac.co.jp
  • 小間番号3628


ワイエイシイメカトロニクス株式会社は、お客様のニーズにマッチングした装置を開発・製造・販売しています。

弊社ではSC事業部とWP事業部の二事業部が出展しております。

SC事業部では、様々な自動化システムを設計・製作しています。
クリーンコンベヤ、ウエハ・パネル移載機、カセット包装機、チップハンドラなど様々な自動化装置を提供しています。

WP事業部は、半導体向け自動/手動洗浄装置(クリーニングおよびエッチング)、高発電効率太陽電池ウエハ用テクスチャリング装置、 各種精密洗浄装置、半導体製造向けIPA乾燥装置の開発、製造、販売を行なっております。今回は、世界トップシェアを誇るIPAベーパー乾燥装置、及び長年のIPAベーパー乾燥装置の設計・製造経験並びに多くの事例で培ったノウ・ハウをつぎ込み開発したIPAミスト直接乾燥装置を展示し、その性能や仕様を専門スタッフがご説明致します。


 出展製品

  • IPAベーパー凝縮置換乾燥装置
    各種半導体・電子デバイス製造の洗浄プロセスで共通の問題である基板表面のウォーターマーク発生の抑止をターゲットにし、鋭意改善を進め開発した「IPAベーパー凝縮乾燥装置」を提供します。 また、本装置は、基板を乾燥させるのと同時に蒸留されたIPAにより清浄度の高い仕上げ洗浄を行う合理的な洗浄・乾燥方法です。...

  • 本装置は、IPAベーハ発生槽(IPAベーパー置換槽)を高純度石英ガラス製とし、高清浄なIPAベーパーで満たされたIPAベーパー置換槽内に、純水洗浄された基板を浸漬して、基板(20℃)とIPAベーパー(80℃)の温度差により、温度の低い基板表面に凝縮IPAを生じさせます。基板表面に生じた凝縮IPAは、基板表面からが流れ落ちる際に、基板表面の付着水を溶解して、IPA置換しながら基板をIPAベーパー温度まで昇温させます。基板温度がIPAベーパー温度と同じ温度になった時点で、基板表面は、IPA凝縮液で完全置換され、乾燥が完了します。
    また、本装置は清浄な乾燥を要求する光学ガラス・凹凸(複雑形状)部品等、極薄基板( 100µm以下)の乾燥が可能です。
  • IPAミスト直接置換乾燥装置
    IPAベーパー乾燥装置の専門メーカーである当社が、長年のIPAベーパー乾燥装置の設計・製造経験並びに多くの事例で培ったノウ・ハウをつぎ込み、IPAベーパーレスとマランゴニ効果を利用して、ウォーターマークレス乾燥を目的に、鋭意改善を進め開発した「IPAミスト直接置換乾燥装置」を提供します。...

  • 本装置は、純水洗浄槽と乾燥槽が一体のPP処理槽内に基板を浸漬し、純水洗浄後、純水面にIPAガスを吹き付けて、純水面上にIPA雰囲気を形成して、更には、純水面にIPA液層を形成します。その後、処理槽内の純水を緩やかに引き下げて、又は、基板をゆっくり引き上げて、基板が純水面からIPAガス雰囲気に引き出る際、純水界面(純水層―IPA液層)に表面張力の局所的な差に起因したマランゴニ力(マランゴニ対流)が生じ、表面張力の小さいIPAに水や溶解して水切り乾燥されます。この時同時に、異物もマランゴニ対流の駆動力を受けて純水層の方向へ移動するので、異物の除去も可能です。また、キャリア使用でもキャリアレス乾燥と同等の乾燥能力を提供できます。
  • クリーンコンベヤシステム(実機展示)
    半導体工場の他、HDD業界やPV業界、医療業界など様々な分野で納入実績があり、搬送物や設置レイアウトに合わせたコンベヤを設計・製作し様々な要望に対応した搬送システムとして提供可能です。 FOUP・FOSB・SMIFの他、様々な容器に対応します。 今回はPANEL FOUP用のコンベヤを展示しています。...

  • 半導体工場の他、HDD業界やPV業界、医療業界など様々な分野で納入実績があり、搬送物や設置レイアウトに合わせたコンベヤを設計・製作し様々な要望に対応した搬送システムとして提供可能です。
    FOUP・FOSB・SMIFの他、様々な容器に対応します。

    今回はPANEL FOUP用のコンベヤを展示しています。

  • ハンドラー・移載機・その他装置/簡易低温ハンドラーC912/フルオートハンドラー
    ICのファイナルテスト用フルオートハンドラー、画像アライメントを用いたパワー半導体用チップハンドラー、常高低温を一貫してテストを行う3温一貫ハンドラー等、様々なハンドラ―の納入実績がございます。...

  • ・ハンドラー・移載機・その他装置

    ICのファイナルテスト用フルオートハンドラー、画像アライメントを用いたパワー半導体用チップハンドラー、常高低温を一貫してテストを行う3温一貫ハンドラー等、様々なハンドラ―の納入実績がございます。

    また、ウェハ、パネル、カセットなど様々な搬送物に対して、測定器やレーザーマーキングなどと組み合わせて、自動化・システム化・上位通信対応をします。
    カセットの2重包装機、簡易バッファなども対応します。

    ・簡易低温ハンドラー C912

    開発環境だけでなく、少量多品種の生産にも便利な簡易型ハンドラーです。LN2だけでなく冷凍機、その他温度制御装置への接続によるクーリングも可能で、環境にやさしい仕様になっております。

    ・フルオートハンドラー

    ICテストのファイナルテスト用フルオートハンドラーです。2個測~8個測は標準ですがお客様仕様にカスタム可能です。

  • 3温一貫機/チップハンドラー
    3温一貫機/チップハンドラー...

  • ・3温一貫機

    通常は温度設定を変更し数回に分けてテストを実施しますが、温度切替ロスを無くした

    常温、高温、低温テストを一貫して行えるハンドラーです。磁場環境下でのテストにも

    対応しております。

    ・チップハンドラー

    パワー半導体用のチップハンドラーです。AC常高温/DC常高温テストを一貫で行えるハンドラーです。画像による自動位置補正、外観検査、放電防止対策、プローブカードや下電極を自動交換機能を搭載しております。