■ マイクロドリル&超音波ドリル装備 RUV-400S
乾式エッチング工程でガスを均一に供給する役割をするSi、SiC及びQuartzなどの電極素材に微細孔(micro drill)加工
■精密加工用スピンドル製造専門企業
工作機械で工作物を加工するための回転軸として単純な部品として定義されてきましたが、最近では加工物の構造およびデザインが持続的に高度化が要求されるようになり、スピンドルは機械で重要な役割を担うようになりました。 今後、半導体をはじめとするすべての加工分野では、より精密なスピンドルが要求される見通しです。
Wafer backgrinding & Edge grinding Spindle / Chuck table
Dicing spindle / Chuck table / Wheel mount / Air bearing Cylinder / Mold grinding spindle
工作機械やその他の専用機 精密加工用 エアベアリング / ボールベアリング スピンドル
■ Smart Factory市場への参入
V-Plus 4.0 特徴:精密ベアリング診断及び分析システム/寿命の長い回転体ベアリング(部品)のような損傷モニタリング