アールエムテック

 CTC-200-65-FサーマルヘッドをDUTに接触させる事により直接温度印加します。DUTに隣接する他のデバイス（抵抗体等）への温度印加を防ぐ事ができます。

・小型軽量で容易な操作

・圧縮エアを必要とせずDUTに温度印加可能

　＊但しDUTの結露防止目的でのドライエアのパージは場合により必要

・温度範囲

-65℃～＋150℃

・温度トランジション
+25℃→ -40℃：2min
 -40℃→ -65℃：2min   +25℃→+125℃：1min

・DUTのサイズに合わせてサーマルヘッド先端のアダプタを交換

・小型コンプレッサーを使用した冷凍機を内蔵

・タッチパネル式のコントロールシステム

・リモートインターフェイス:RS-232/LAN

標準搭載のSpectraViewアプリケーションソフトウエアにより、励起発光した種の経時変化モニターや指定時間内の複合波長から膜種を想定可能なライブラリを搭載しています。

高感度CCDセンサを搭載し、UV領域の感度が高く、検出困難だった微細な変化でも捉える分光計を備えています。

＜用途＞

イオンビームエッチング、プラズマエッチング、反応性スパッタリング、アッシング／フォトレジスト除去、プラズマイオン注入、CVD、ベベルエッチング、CMP 等

当システムは各プロセスの重要な補助装置として機能します。

・ 温度範囲

ETS-210- 10S：-55℃～＋180℃

ETS-310- 10S：-65℃～＋200℃

ETS-410- 10S：-80℃～＋220℃

・ 温度トランジッション(シリーズ共通)

-40℃ → +85℃：  10sec

+85℃ → -40℃：  10sec

・ 低騒音 55dB

・ 大型タッチスクリーン

・ DUTコントロール     ：DUT(テストサンプル)に取り付けたセンサにて温度コントロール可能

・ イーサネット ・ インターフェイス、   RS-232C/485/GPIB インターフェイス等各種機能搭載

最大許容不可：2000W

冷媒ガス：HFCを含まない冷媒使用

サイズ：710mm×780mm×1700mm

重量：430Kg

イオンビームソースはクリーニング、トリミング、スパッタ、エッチング等、幅広く適用致します。グリッドレス（エンドホール）タイプ　　低エネルギー、高電流密度によりダメージの少ないエッチング、クリーニング、イオンアシスト蒸着が可能です。eH200,eH400,eH1000,eH2000,eH3000                              　　　　　 　　    グリッドタイプ　イオンビームエッチング用として磁性材料、金属膜などのエッチング用、イオンビームスパッタ用として欠陥の少ない高品質光学薄膜等が常温にて作成可能。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　DCタイプ　KDC10,KDC40,KDC100,KDC140,KDC160　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　RFICPタイプ　RFICP40,RFICP100,RFICP140,RFICP220,RFICP360