1.極低アウトガスグリース
近年、半導体の微細化により要求が高まっている『低アウトガス』『低発塵』『メタルコンタミフリー』を開発コンセプトとし、お客様のご使用環境に合わせた2タイプをご用意しています。
BARRIERTA BFV 402(バリエルタ BFV 402)は、ASTM E595によるアウトガス試験において、TML(質量損失比):0.003%、CVCM(再凝縮物質量比):0.000%を達成しました。現在ご使用されているグリースと比べ、大幅なアウトガス量の低減が期待できます。
BARRIERTA KFV 202(バリエルタ KFV 202)は、-50~260℃の広い温度範囲で使用できる低アウトガスグリースです。耐摩耗性、および耐荷重性にも優れ、各種しゅう動部の潤滑に適しています。
2.クリーンルーム用低発塵グリース
半導体製造工程で用いられる各種部材には高い清浄度が求められます。弊社のクリーンルーム用低発塵グリースは、グリース由来のパーティクルの発生を抑えることにより、装置周辺における汚染トラブルの解決に貢献します。
ISOFLEX TOPAS NCA 152(イソフレックス トパス NCA 152)は、Cleanroom Suitable Materials (CSM)認証を取得しており、クリーンルーム適合材料として認められたグリースです。耐摩耗性に優れており、各種半導体製造装置の駆動部(軸受やボールねじなど)にご使用頂けます。