イワキ

千代田区,  東京都 
Japan
https://www.iwakipumps.jp/
  • 小間番号4702


多品種少量生産体制で、ケミカルポンプ開発の歴史を築いてきました。 流体制御機器のトップブランド、それがイワキです。

半導体製造装置市場における最先端・大量生産(300mmウエハ)向けと、既存装置(200mm以下ウエハ)によるそれぞれの用途に対応可能なポイプラインナップを展示します。
独自開発による超高効率リニアドライブを実現した新製品「リニアポンプLR」を展示します。優れた定量性と送液精度をぜひご覧ください。


 出展製品

  • FLP
    ダンパー不要で低脈動を実現し、トータルコストの削減に貢献 枚葉プロセスに適した優れた負荷追従性による安定した運転を実現します...

  • 低脈動

    システムの独特の駆動メカニズムがポンプ脈動を打ち消す最適な位相にベローズの動きを制御、脈動が極めて少ない運転を実現しています。

    エアー消費量を削減

    従来型と比較してエアー消費量を最大30%(当社従来比)削減しました。供給エアー圧力を下げても従来型と同等の性能が得られます。

    優れた負荷追従性

    位相制御を行うことで負荷変動時の追従性が向上しました。特に枚葉プロセスなどの圧力変動が頻繁に発生するラインで、その高い負荷追従性により吐出量、吐出圧の安定した運転が実現します。

    ダンパー不要で省スペース化を実現

    ダンパーの組み込みが必要ないので装置の省スペース化が実現します。配管作業も容易でフッ素樹脂継ぎ手などの高価な配管材を削減可能、装置の小型・軽量化に貢献します。

  • LR
    独自開発による超高効率リニアドライブを実現 優れた定量性と送液精度で幅広い用途に対応...

  • LRシリーズの特長

    静音

    • 新しい駆動方式の採用により騒音の原因となる運転音を回避

    • 運転条件、周囲環境により異なります。 詳しくはお問合わせください。

    無脈動

    • 駆動部を独立制御
    • 2つのポンプ部の交互運転により無脈動注入を実現

    連続流

    • 様々な運転モードで無脈動による連続送液が可能

    • 運転モードについてはコントローラ仕様をご参照ください。

    広い流量範囲

    • 10000:1。驚異の制御範囲
    • 0.01mL(10µL)/minの微小流量~100mL/minまでの送液を実現

    • 選定したバルブモジュールによってCv値仕様範囲が異なります。 詳しくはお問合わせください。

    高精度

    • 高分解能・高制御
    • Cv値0.5〜3.0%を実現
    • 圧力変動・可変時の流量変動に強い

    • Cv値についてはCv値仕様範囲をご参照ください。

    コンパクト

    • 人間工学に基づいた縦型ポンプモデルを採用
    • 省スペースで現場での持ち運びも容易

  • MJ-100
    磁気軸受構造とマグネット駆動方式を組み合わせた、独自の構造を持った渦巻きポンプ。(PAT.PEND.)磁気軸受によりインペラを完全に浮かせ、どこにも接触しない状態で運転します。...

  • イワキのマグレブポンプは、シール部品のないマグネット駆動方式のメリットに加え、さらに接触、摺動する部品のないポンプになりました。さまざまな用途で、安全にクリーンな送液が行えます。

    マグレブポンプの特長

    • ベアリングなどのポンプ室で接触する部品はありません。
    • ポンプの長寿命化や部品同士の摺動によるパーティクル発生の防止などのメリットが期待できます。
    主要用途
    • 表面処理プロセス
    • 各種装置組込み用
  • TC
    半導体プロセス専用設計洗浄液循環・CMPスラリー液移送・高純度薬液供給ポンプ ...

  • TCシリーズ(フッ素樹脂タイプ)の特長

    半導体専用設計

    TCT型は、半導体用に設計されたフッ素樹脂製のエアー駆動ダイヤフラムポンプです。エアー駆動方式のメリットと多彩な機種構成により、洗浄装置の循環用やCMPスラリー液の移送用、さらには高純度薬液の供給用まで幅広くご使用いただけます。

    エアー消費を大幅削減

    エアー室の構造変更により、従来機種に比べエアー消費を大幅に削減しました。高吐出圧力運転時において、エアー消費を最大50%削減できます。

    • 最大吐出量付近のデータ比較となり、機種、移送する液体、配管により異なります。

    高圧吐出・圧力制御が容易

    Max.0.7MPa(一部0.85MPa)の高圧吐出が可能です。また吐出圧力は供給エアー圧力に比例するため、エアーレギュレータの調整で容易に制御することができます。

    防爆対策は不要

    圧縮エアーで駆動するため、特別な防爆対策は不要です。またオーバーロードによる発熱もないため、防爆エリアでも使用可能です。心臓部のエアー切換方式は、新開発のループドCスプールと新メカニカル方式の採用により、作動性能が向上しました。

    • 機種によりエアー切換方式は異なります。

    ループドCスプール

    ループドCスプールは、独自構造のループドCスプリングを採用しており、従来のC型スプリングよりバネを長くすることで、耐久性を向上し、中間停止軽減効果が大きくなりました。また、スプール本体には軽量なアルミ材質を採用。これらの効果をより大きくしています。