未来は光でおもしろくなる
ウシオは、半導体製造プロセスのイノベーションに「光」で貢献いたします。
昨年に続き今年も、グループ会社であるアドテックエンジニアリングと共同出展し、両社のパッケージ向け露光装置をご紹介するほか、昨年協業を発表いたしましたApplied Materials, Inc.社との新しいデジタルリソグラフィ装置も含めた、ウシオグループとしてのアドバンストパッケージング分野でのポートフォリオ戦略提案についても展示いたします。
■出展内容
1.投影露光装置「UX-4」,「UX-5」(ウシオ電機)
2.直描式露光装置(DI)の新製品「IP-NX7000」(アドテックエンジニアリング)
3.半導体後工程向け露光装置「DE-2」,「DE-8」(アドテックエンジニアリング)
4.直描式露光装置DLT(Applied Materials, Inc.社とのパートナーシップ製品)