エーサット

中央区日本橋小伝馬町,  東京都 
Japan
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  • 小間番号7824

装置、付帯設備、材料、パーツの取扱をしており、トータルソリューションも提案しております。 今回は装置をメインに紹介します。

☆シンガポール、ASETS社(Advanced Semiconductor Equipment Technology Singapore Pte.Ltd)の装置Lineup紹介

 ・CCP Etch for dielectric films(Via, Trench and Bond Pad Application)

 ・ICP Etch for dielectric films(Gate, BARC for CMOS and Silicon etch for MEMS)

 ・MOCVD Epi for GaN and HTCVD(SiC films for Power Device, LED)

 ・LPCVD W deposition for High Aspect Ratio Via(DRAM, 3D structure)

 ・Metrology for thickness films(Using Ellipsometry)

※ASETS社スタッフと共に、各装置の特徴をご紹介いたします。

☆Si Dummy Waferの紹介

 確かな再生技術で、品質が高いDummy Waferを取り扱っております。表面、エッジ部、平坦性の品質維持は勿論の事、パーティクル、メタル制御も、柔軟に調整を図れます。

※再生技術における強みを、パネルを使って、ご紹介をさせて頂きます。

☆CELL再生の紹介

 エッチャープロセス向け、CELL製品の再生を紹介致します。高度な洗浄技術にて、精度の高い(表面粗度、Hole)再生を実現致しました。コストダウンへも寄与しますので、お気軽にご相談下さい。