SPPテクノロジーズ

千代田区一ツ橋,  東京都 
Japan
https://www.spp-technologies.co.jp/
  • 小間番号4106

弊社ブースでは、現在普及しているIoT/IoEならびに、次世代通信技術である5Gや
自動運転などで重要な技術として注目されている化合物半導体デバイスや
MEMSセンサーの製造装置を紹介させていただきます。


 出展製品

  • Predeus(?????)
    シリコン深掘り装置(Si DRIE - Silicon Deep Reactive Ion Etching) プラズマを用いたドライエッチング装置 シリコン基板にミクロンオーダーの細く深い溝や孔を高速で形成するツールです。加工面は滑らかです。 MEMSセンサーやアクチュエータ―の大量生産において多数の実績があります。...

  • SPPテクノロジーズ株式会社は、プラズマを利用したドライプロセス用製品を研究・開発・販売・アフターサポートを行っております。

    ・プラズマエッチング装置(シリコン深掘り/汎用エッチング)

    ・プラズマ成膜装置 PECVD装置

    ・熱成膜装置 LPCVD 縦型熱処理炉