弊社ブースでは、現在普及しているIoT/IoEならびに、次世代通信技術である5Gや 自動運転などで重要な技術として注目されている化合物半導体デバイスや MEMSセンサーの製造装置を紹介させていただきます。
SPPテクノロジーズ株式会社は、プラズマを利用したドライプロセス用製品を研究・開発・販売・アフターサポートを行っております。
・プラズマエッチング装置(シリコン深掘り/汎用エッチング)
・プラズマ成膜装置 PECVD装置
・熱成膜装置 LPCVD 縦型熱処理炉