エドワーズ

八千代市,  千葉県 
Japan
https://www.edwardsvacuum.com/ja-jp
  • 小間番号5427


真空ポンプならびに排ガス除害装置のグローバルリーダーとして、多数ラインアップを展示予定です。ご来場お待ちしております。

半導体業界をはじめとする、エレクトロニクス分野、分析機器、研究機関などあらゆるマーケットやアプリケーションにご採用いただき、人々の社会や暮らしの一端を担っています。今を支えている非常に重要な要素技術を生み出している企業です。

人々を支えている真空技術、それを大きく支えるエドワーズの真空製品。最先端の真空機器・排ガス処理装置を中心に、低真空から極高真空の豊富な製品ラインナップと経験による高いレベルのサービスをご提供いたします。

私たちは真空のプロフェッショナル企業としての知識と経験があります。これらのノウハウとグローバルサービスネットワークを活かし、お客様にとって当社を第一選択肢としていただけるようなご提案を心がけて参ります。First in Mind, First in Choice. 


 出展製品

  • 磁気浮上式ターボ分子ポンプSTPシリーズ
    メンテナンスフリーの安定した信頼できる性能をお求めであれば、当社のSTP磁気浮上ターボ分子ポンプシリーズが理想的です。ロータが磁気ベアリングにより完全に浮上しているため、長時間の安定稼働、ハイドロカーボンを使用しないクリーンな排気、ミニマムメンテナンスおよび低振動が求められる用途に最適です。...

  • 主な特長

    完全一体型コントローラ&電源

    このオールインワンターボポンプソリューションにより、従来は必要だった接続ケーブルとラックが不要となります:

    • フットプリントの削減、貴重なファブの床面積と設置時間およびコストの節約
    • オンボード電源により、高ガス流量でのエネルギー消費を最大32%削減
    • 排気速度300~4,500 l/sで動作

    超高真空

    超高真空シリーズは、比類のない信頼性、性能、清潔さ、クラス最高の低振動レベルを実現します。

    • 直流電源によりバッテリーが不要
    • ハーフラックコントローラは、自動チューニングと高度な診断機能を完備
    • 300~1,000 l/sの速度と到達圧力<10-10 mbarのCFフランジ
    • 過酷なプロセス向けの「C」バージョンもご用意

    超高真空低振動シリーズ

    超高真空低振動バージョンには、超高真空シリーズの全機能に加えて、超低振動性能を実現するための内蔵防振装置が組み込まれています。