荏原製作所

大田区羽田旭町,  東京都 
Japan
http://www.ebara.co.jp
  • 小間番号5347

荏原製作所は、半導体製造における平坦化と真空技術のリーディングカンパニーです。本展では、新製品を含む半導体製造装置及びコンポーネントシステムの展示を行います。

◆新製品◆

①先端パッケージアプリケーション対応、電解めっき装置ZP300A型

荏原史上最高の生産効率とプロセやス性能を備えたZP300A型を初公開します。ウェーハ/ダイ内均一性の更なる向上、コンパクトかつ柔軟な装置構成が可能なユニット構造やメンテナンス性の向上により、高度なプロセス性能と生産性が要求される先端パッケージ市場に最適です。

②コンパクト排ガス処理装置LPCMN型

水素燃料に対応コンパクト排ガス処理装置です。従来機比同等の処理性能で装置の大幅な小型化を実現しました。PFCガスの高効率処理かつ低NOxを実現、水素燃料処理によりCO2排出量低減に貢献します。

◆その他展示製品◆

高生産効率&高信頼性ウェーハCMP装置、パネル用CMP装置&電解めっき装置、高負荷プロセスからR&D利用まで対応可能・豊富なラインナップのドライ真空ポンプなど、荏原の半導体製造関連装置を展示します