エムエス機器

新宿区矢来町,  東京都 
Japan
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  • 小間番号5936

半導体製造装置⽤に設計・開発されたSolid State Cooling Systems社製 ペルチェチラーは制御温度範囲が広く、
特に低温領域での性能に優れております。
この度、19インチラックに収納可能なThermoRackシリーズに新たにThermoRack 2801(3,000W@20℃)が加わり、ー20℃~+80℃と広範囲なレンジで高精度(±0.05℃)に温調することが可能となりました。
また、SSCS社のペルチェチラーは⾼性能なペルチェデバイスと、独自設計の熱交換効率に優れたヒートエクチェンジャーの組合せにより省エネ効果が極めて⾼い製品です。

冷凍機チラーに比べて以下のようなメリットがあります。

① チラーの電力消費量を大幅に削減
② チラーの冷却水への排熱量を大幅に削減
③ 完全密閉構造でフッ素系溶剤の消耗量を大幅に削減
④ ラックに搭載して設置エリアの省スペース化を実現
⑤ 装置近傍設置により配管施工コスト、フッ素系溶剤のコストを大幅に削減
⑥ 温度追従性が高く温度条件変更後も短時間で安定
⑦ 駆動部品がポンプとファンのみで故障率が大幅に低減

是非、この機会に弊社取り扱いのペルチェチラーの導入をご検討下さい。


 出展製品

  • ThermoRack シリーズ
    半導体製造工程における高精度制御チラーとして最適にデザインされています。 また、循環液はグリコール系溶液、及び各種フッ素系溶剤に対応しております。...

  • 「ThermoRack 2801」
    ✔ 設定温度範囲 -20℃~+80℃、冷却能力 3,000W(設定温度:20℃、冷却水温度:20℃)
    「ThermoRack 1201」
    ✔ 設定温度範囲 -10℃~+80℃、冷却能力 1,340W(設定温度:20℃、冷却水温度:20℃)
    「ThermoRack 1801」
    ✔ 設定温度範囲 -10℃~+80℃、冷却能力 1,800W(設定温度:20℃、冷却水温度:20℃)
  • ThermoCube Ⅱ
    ThermoCubeⅡは静粛性・低振動で、-10℃から設定可能で±0.05℃の温度精度を維持します。また、空冷式/水冷式の選択が可能です。 ...

  • ✔ 設定温度範囲:-10℃~(Low Temp オプション)、~+65℃(High Temp オプション)
    ✔ 冷却能力 : 200W、300W、400W、500W(空冷モデル)、400W、600W(水冷モデル)
    ✔ 循環液 :グリコール系溶液、及び各種フッ素系溶剤に対応
    ✔ ポンプ :7種類から選択可能
    ✔ 通信機能 :RS232(HEX、ASCII)に加え、RS485およびイーサーネットにも対応
    ✔ 標準装備 :Variable FAN機能、Auto Restart機能
  • Nikola シリーズ
    最大 5,000Wの冷却能力で±0.05℃の温度安定性を提供します。 また、循環液はグリコール系溶液、及び各種フッ素系溶剤に対応しております。...

  • 「Nikola 3K」
    ✔ 設定温度範囲 -10℃~+80℃、冷却能力 3,000W(設定温度:20℃、冷却水温度:20℃)
    「Nikola 5K」
    ✔ 設定温度範囲 -10℃~+80℃、冷却能力 5,000W(設定温度:20℃、冷却水温度:20℃)