〇多様なオプションで最適な仕様にカスタマイズ
加速電圧 30 kV を標準とし、加速電圧 50 kV やダイナミックフォーカス・スティグマ、
ハイトセンサーを用いたフォーカス調整等,様々なオプションをご用意しました。
これらオプションを組み合わせることでご所望のパターンやご予算に合わせた装置仕様にカスタマイズ可能です
〇ユーザーフレンドリーなソフトウェア
新たな装置制御ソフトウェア「elms(エルムス)」を標準搭載しました。
CAD変換やビーム調整、描画実行、SEM観察など様々な機能を整理して分割することにより、
必要な機能が見つけやすくなり、作業性が格段にアップしています。
アカウント管理機能もあるため、ユーザーのレベルに合わせた機能制限等も可能です。
〇SEM観察に特化したリターディングオプション
低ダメージかつ高分解能なSEM観察を可能とするリターディングオプションを選択可能です。
SEM装置相当の低加速電圧で、最大試料サイズ 8 inch、観察可能範囲 6 inch のSEM観察を行えます。
また、描画用CADを流用して座標を合わせた自動観察も可能です。