エリオニクス

八王子市,  東京都 
Japan
https://www.elionix.co.jp
  • 小間番号4533


「ナノテクノロジーの発展と共に歩んだ50年から、未だ見ぬ小さな世界に挑戦し続ける50年へ」

2025年、創業50周年を迎えるエリオニクスは、ナノテクノロジーと共に進歩し続けてきました。1975年、創業者である7人の技術者が掲げた「時代をリードする創造企業を目指し、科学技術の進歩に貢献する」の志を礎に、その時代ごとに世界最小の線を描ける電子線描画装置を生み出すなど、現在も革新と挑戦を重ねています。

本展示会のブースでは、50年の歩みを振り返る製品写真や歴史と共に、歴史を引き継いだ以下の最新装置をご紹介いたします。

業界トップシェアを誇ってきた電子ビーム描画装置を一新し、パワーアップして生まれ変わった【BODEN】をご紹介致します。見た目はもちろんの事、加速電圧・チャンバーサイズ・搬送機構・除振台を用途や環境に合わせて選択できるモジュールシステムや新規設計した偏向系によるスループットの向上、ユーザーフレンドリーな新ソフトウェアなど、たくさんの見どころを是非この機会にご確認下さい.また,400MHzスキャンクロックと高速ステージを採用したハイエンドモデル【BODENΣ】も併せてご紹介いたします。

さらに、R&D向け電子ビーム描画装置の最新エントリーモデルである【ORCA】もご紹介いたします。ブースではデモンストレーション用装置とのリモート接続を予定しており、実機の操作性をご体感いただけます。

電子ビーム描画装置の他、Electron Cyclotron Resonance (ECR) 方式のイオンビームを用いたエッチング/スパッタ装置もご紹介いたします。

EBLからエッチング・成膜まで一連のプロセスのご相談もお受けしておりますので、是非弊社ブースへお立ち寄り下さい。


 出展製品

  • ELS-BODEN
    電子ビーム描画装置:ELSシリーズ 電子ビームを用いてナノ領域のパターンを描くことができる装置です。 ...

  • 〇BODEN(ボーデン)とは“大地” を意味する言葉です。広く雄大な大地のように、全てのプロ
    セスの揺るぎない土台となり、この装置を使用して得られた全ての成果が、無限に広がってい
    くようにという思いを込めて名付けられました。


    〇加速電圧・チャンバーサイズ・搬送機構・除振台を用途や環境に合わせて選択できるモジュールシステムや新規設計した偏向系によるスループットの向上いております。


    〇ソフトウェアには【elms】を採用しております。
    シンプルでユーザーフレンドリー,さらに拡張性を備えた新しいソフトウェアです。
    従来のソフトウェアでは電子ビームの調整と描画実行の
    2 つソフトウェアに別れていた様々な機能を1 つのソフトウェアに集約し、
    機能ごとに整理して分割を行いました。
    これにより、必要な機能が見つけやすくなり、作業効率が格段にアップします。

  • ELS-ORCA
    R&D向け電子ビーム描画装置の最新エントリーモデル ...

  • 〇多様なオプションで最適な仕様にカスタマイズ
    加速電圧 30 kV を標準とし、加速電圧 50 kV やダイナミックフォーカス・スティグマ、
    ハイトセンサーを用いたフォーカス調整等,様々なオプションをご用意しました。
    これらオプションを組み合わせることでご所望のパターンやご予算に合わせた装置仕様にカスタマイズ可能です


    〇ユーザーフレンドリーなソフトウェア
    新たな装置制御ソフトウェア「elms(エルムス)」を標準搭載しました。
    CAD変換やビーム調整、描画実行、SEM観察など様々な機能を整理して分割することにより、
    必要な機能が見つけやすくなり、作業性が格段にアップしています。
    アカウント管理機能もあるため、ユーザーのレベルに合わせた機能制限等も可能です。


    〇SEM観察に特化したリターディングオプション
    低ダメージかつ高分解能なSEM観察を可能とするリターディングオプションを選択可能です。
    SEM装置相当の低加速電圧で、最大試料サイズ 8 inch、観察可能範囲 6 inch のSEM観察を行えます。
    また、描画用CADを流用して座標を合わせた自動観察も可能です。