当社は「オプトナノテクノロジー」を掲げ、従来の光学市場は基よりオプトエレクトロニクス市場へも事業を拡大しております。微細化と複雑化が進む電子部品や光半導体の市場においても、当社が培った最先端技術と成膜プロセスノウハウを最大限に生かし、お客様のニーズにお応えします。お客様が最適なものづくりを実現するための装置と技術をご紹介させていただきます。
【 特徴 】
■6インチウェハを25枚／バッチ処理
■成膜直入性：＜±3°
■膜厚分布（6インチウェハ WIW、WTW）：＜±1.5％