カナメックス

厚木市,  神奈川県 
Japan
http://www.kanamex.co.jp
  • 小間番号5305

当社クリーンルームにて各種デモが可能です。 営業技術担当がデモ内容の打ち合わせから実演、仕様決め迄トータルサポートします。

設計・製造・技術の要

株式会社カナメックスです。

実機出展

・枚葉式スピン洗浄装置

 ウエハ表面の有機物やパーティクルを洗剤や純水、オゾン水、脱気水、エキシマUVで洗浄

 リンス後、N2ガスブロー併用でスピン乾燥させます。

 ウォーターマークレスでの乾燥が可能です。 省薬液で低環境負荷の処理が行えます。

 スピンチャックはウエハ外周ピン保持とバキューム保持と切り替えが可能です。

・オゾン水ユニット

 有機物除去、表面酸化、金属不純物除去、レジスト残渣除去効果があります。

・脱気水ユニット

 溶存酸素低減、超音波の音圧向上による洗浄効果アップ

・エキシマUVユニット

 ドライ処理での表面改質、有機膜の除去、親水化、密着性向上が可能です。

その他、パネル展示等

・枚葉スピン式自動RCA洗浄装置

・枚葉式チップ洗浄装置

・多段循環式自動スピンエッチング装置

・Au、Ti、Cuなど各種メタルエッチング装置

・CMP・各種研磨後用 スクラブ洗浄装置

・その他フォトリソ関連装置

 (塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄)

・コーターデベロッパー

・□820mm対応スピン洗浄装置

・枚葉式スピン メタルリフトオフ装置

当社クリーンルームにてフォトリソ工程の各種デモが可能です。

営業技術担当がデモ内容の打ち合わせから実演、

仕様決め迄トータルサポートします。

当社ブースへのご来場お待ちしております。