当社クリーンルームにて各種デモが可能です。
営業技術担当がデモ内容の打ち合わせから実演、仕様決め迄トータルサポートします。
設計・製造・技術の要
株式会社カナメックスです。
実機出展
・枚葉式スピン洗浄装置
ウエハ表面の有機物やパーティクルを洗剤や純水、オゾン水、脱気水、エキシマUVで洗浄
リンス後、N2ガスブロー併用でスピン乾燥させます。
ウォーターマークレスでの乾燥が可能です。 省薬液で低環境負荷の処理が行えます。
スピンチャックはウエハ外周ピン保持とバキューム保持と切り替えが可能です。
・オゾン水ユニット
有機物除去、表面酸化、金属不純物除去、レジスト残渣除去効果があります。
・脱気水ユニット
溶存酸素低減、超音波の音圧向上による洗浄効果アップ
・エキシマUVユニット
ドライ処理での表面改質、有機膜の除去、親水化、密着性向上が可能です。
その他、パネル展示等
・枚葉スピン式自動RCA洗浄装置
・枚葉式チップ洗浄装置
・多段循環式自動スピンエッチング装置
・Au、Ti、Cuなど各種メタルエッチング装置
・CMP・各種研磨後用 スクラブ洗浄装置
・その他フォトリソ関連装置
(塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄)
・コーターデベロッパー
・□820mm対応スピン洗浄装置
・枚葉式スピン メタルリフトオフ装置
当社クリーンルームにてフォトリソ工程の各種デモが可能です。
営業技術担当がデモ内容の打ち合わせから実演、
仕様決め迄トータルサポートします。
当社ブースへのご来場お待ちしております。