ウェハ搬送ロボットで世界をリードする川崎重工が未来に向けたベストソリューションを提供いたします。
■ウェハ搬送ロボットのご紹介
●NX411(実機展示)
・シングルハンド ・Z軸ストローク長:0~330 ㎜ ・把持タイプ:エッジグリップ ・対応ウェハサイズ:8インチ、12インチ ・対応FOUP数:最大2FOUP
●NTJ11(パネル展示)
独自の駆動構造により、高精度かつなめらかな動きを実現。
・シングルハンド ・Z軸ストローク長:0~470 ㎜ ・把持タイプ:エッジグリップ ・対応ウェハサイズ:8インチ、12インチ ・対応FOUP数:最大3FOUP