川崎重工業

港区海岸,  東京都 
Japan
https://kawasakirobotics.com/jp/
  • 小間番号4833


ウェハ搬送ロボットで世界をリードする川崎重工が未来に向けたベストソリューションを提供いたします。


 出展製品

  • ウェハ搬送ロボット NX411(実機展示)
    コンパクトなアーム設計により、省スペースでの設置が可能。...

  • ■ウェハ搬送ロボットのご紹介

    ●NX411(実機展示)

    • コンパクトなアーム設計により、省スペースでの設置が可能です。
    • ・シングルハンド
      ・Z軸ストローク長:0~330 ㎜
      ・把持タイプ:エッジグリップ
      ・対応ウェハサイズ:8インチ、12インチ
      ・対応FOUP数:最大2FOUP

    • 製品リンク:https://kawasakirobotics.com/jp/products-robots/nx411/
  • ウェハ搬送ロボット NTJ11(パネル展示)
    独自の駆動構造により、高精度かつなめらかな動きを実現。...

  • ■ウェハ搬送ロボットのご紹介

    ●NTJ11(パネル展示)

    独自の駆動構造により、高精度かつなめらかな動きを実現。

    ・シングルハンド
    ・Z軸ストローク長:0~470 ㎜
    ・把持タイプ:エッジグリップ
    ・対応ウェハサイズ:8インチ、12インチ
    ・対応FOUP数:最大3FOUP