カワソーテクセル

千代田区,  東京都 
Japan
http://www.kawaso-texcel.co.jp
  • 小間番号5103


電流導入端子や絶縁パイプなどの真空用気密部品、水冷ヒートシンクの専門メーカーです。

カワソーテクセルは明治10年から140年以上続いている接合の専門メーカーです。

長年培った接合のノウハウを生かし、品質・開発にこだわりを持ちご要望の仕様にお応えする製品作りに励んでいます。標準品も取り揃えておりますがカスタム品の設計・検証を得意としており、装置の仕様に合わせたご提案をいたします。

ブースでは、半導体製造装置などの真空チャンバー内への電気導入に欠かせない電流導入端子や、プロセスガス・冷却水を流すための絶縁パイプなど、セラミックと金属をろう付で接合した気密接合製品を展示します。また、電源内のアンプや基板など様々な発熱源を冷却する水冷ヒートシンクをご紹介します。

多くのお客様から高い信頼を頂いているカワソーテクセル製品を是非直接ご覧ください。

ブースにてご来場をお待ちしております。


 出展製品

  • 螺旋穴絶縁パイプ
    プラズマ処理装置などでプロセスガス導入時の放電抑制に最適です...

  • セラミックスに螺旋穴を加工したタイプの絶縁パイプです。
    ガスを導入する穴を螺旋形状にすることで、直線的な放電の発生を抑制することができます。
    ・電極間の距離、ガス流路距離を長くすることにより、放電発生の抑制します。
    ・ガス流路の絶縁距離の確保により、装置の省スペース化に寄与します。
    ・標準品のラインアップがございますが、ご希望の形状・寸法に基づき最適な設計をご提案するカスタム品の製作も
     しております。
    エッチング・成膜用のプラズマ処理装置およびCVD装置・スパッタ装置や、衛星内ホールスラスターなどに
     採用されています。
  • 多ピンコネクタ(多ピン端子)
    電流や信号の接続に使用する気密性のあるコネクタ(端子)です。...

  • 原子力関係や量子系研究所、真空コンポーネントなど幅広いアプリエーションで使用されています。

    ・200本以上のピンをセラミックに接合してもリーク漏れは1本もありません。

    ・極細のピンでも精密な寸法精度、高い垂直度を実現します。

    1.0×10-10Pa・m³/sec以下の超高真空環境下でも使用可能です。

  • 水冷ヒートシンク(コールドプレート、水冷板)
    最適な流路設計で高い冷却性能のヒートシンクを提供します。 表面温度のバラつきが少ない均一冷却にこだわったヒートシンクです。...

  • ・ヒートシンクの材質はアルミ、銅、ステンレスです。

    ・標準品は多数取り揃えております。

     ヒートシンク表面のご希望の位置にどこにでもタップ穴を加工できる「ユニバーサルヒートシンク」は

     2週間で納品します。

    ・冷却性能、用途、サイズ、材質などご要望に合わせたカスタム品の製作を得意としています。

     最適なヒートシンクを設計し、ご提案いたします。

    ・ヒートシンクと口金(継手)は気密性の高いろう付で接合しています。

     長期信頼性に優れており、水漏れを心配することがなく安心してご使用いただけます。

    ・設計段階での熱解析や、実際に製品を製作して冷却性能などを実測する冷却性能試験も承っております。

     

  • 高耐食アルミ製水冷ヒートシンク
    水道水などによるアルミの腐食を防ぐため、冷媒の流路にコーティングをした アルミ製ヒートシンクです。...

  • 冷媒を流す内部流路にコーティング処理をしていますので、冷媒がアルミに直接触れることが

    ありません。

    アルミに対する塩化物イオンや金属イオンによる腐食を防止した構造となっています。

    また、コーティングすることによる冷却性能の低下はほぼございません。

    ご要望のサイズや冷却性能は是非ご相談ください。