EMとDHSを組み合わせることで350℃高温環境下でエレクトロマイグレーション評価ができるシステムです。
本システムを使用することで、エレクトロマイグレーションを発生させ、加速試験を実現し業務効率化に貢献します。
半導体の信頼性においては、高温下でのエレクトロマイグレーション評価が重要です。
ソケット部にはバネ機構を設けることでサンプルとヒーターの密着度を高め、測定後は取り外しがしやすい配慮がされています。
また、4つのサンプルごとにヒーターを設け、温度をフィードバック制御することで均一性の高い測定を実現します。
~エレクトロマイグレーション(EM)とは~
金属配線に流れる電子が金属原子と衝突し、金属原子を輸送する現象です。
最終的に、金属原子が減少する箇所は断線する信頼性問題となります。
高温大電流密度下で発生しやすい現象です。