楠本化成

千代田区,  東京都 
Japan
https://etac.jp/
  • 小間番号3639

DHS(ダイレクトヒーティングシステム)とEM(エレクトロマイグレーション評価システム)による、350℃高温環境下での評価が可能なシステムソリューションを提案します。

また、高速かつ多点で精度よく配線評価が出来る弊社独自のシステム製品もご案内します。


 出展製品

  • EM(electromigration)system
    EM(エレクトロマイグレーション評価システム)とDHS(ダイレクトヒーティングシステム)を組み合わせることで350℃高温環境下でエレクトロマイグレーション評価ができるシステムです。 ...

  • EMとDHSを組み合わせることで350℃高温環境下でエレクトロマイグレーション評価ができるシステムです。

    本システムを使用することで、エレクトロマイグレーションを発生させ、加速試験を実現し業務効率化に貢献します。

    半導体の信頼性においては、高温下でのエレクトロマイグレーション評価が重要です。

    ソケット部にはバネ機構を設けることでサンプルとヒーターの密着度を高め、測定後は取り外しがしやすい配慮がされています。

    また、4つのサンプルごとにヒーターを設け、温度をフィードバック制御することで均一性の高い測定を実現します。

    ~エレクトロマイグレーション(EM)とは~

    金属配線に流れる電子が金属原子と衝突し、金属原子を輸送する現象です。

    最終的に、金属原子が減少する箇所は断線する信頼性問題となります。

    高温大電流密度下で発生しやすい現象です。

  • TDDB(Time Dependent Dielectric Breakdown)system
    ウエハレベルでのハイサイド測定型ゲート酸化膜破壊評価システムです。 ...

  • 一般的な絶縁抵抗計はローサイド型測定のため、ウエハレベルでの評価を行うことはできません。

    本装置では、ハイサイド型測定にすることで、ウエハレベルでもソース側の電流測定可能としました。

    また、アクティブシールドを設けることで高精度測定を可能にします。

    TDDB法評価の試験法として以下の全7種類の試験法を行うことができます。

    ①定電圧ストレス法

    ②定電流ストレス法

    ③定電圧ステップストレス法

    ④定電流ステップストレス法

    ⑤電圧ランプ法

    ⑥I-V特性測定

    ⑦電圧バーストストレス法