リソグラフィー向けの高出力UV-LED照射装置、表面検査装置、スペクトルカメラ、超高感度CCDなどをご紹介いたします。
■リソグラフィー向けUV-LED照射装置
https://www.klv.co.jp/product/uv-irradiation-device/ale2.html
「従来の水銀放電ランプに変わる高出力・高安定を実現。」
Primelite社のUV⁻LED照射装置「ALEシリーズ」は、先進のUV-LED技術により、高出力・高安定を実現したLED照射装置です。
マスクアライナー、ステッパー、周辺露光、フォトマスク検査などの半導体アプリケーションに最適なLED照射装置をご提案いたします。
■「高輝度・低デブリ」EUV光源
https://www.klv.co.jp/product/euv-light-source/EUV_light_source_TEUS.html
回転式金属ターゲットにより、従来の液滴ターゲットと異なり、プラズマ発生時に飛散するデブリの光学系への付着を低減します。
■高輝度・広帯域 レーザー励起白色光源
https://www.klv.co.jp/product/series-xws-series/
190~2500nmの高輝度広帯域、長寿命の光源で、膜厚測定、半導体検査、分光分析の光源としてご使用頂けます。
レーザー励起白色光源を内蔵した波長可変光源もご用意しています。
■超小型ECRプラズマ源
https://www.klv.co.jp/product/plasma-source/tes.html
あらゆるサイズと形状のイオンビームや電子ビームの作成が可能です。
■スーパーコンティニューム光源(SC光源)
https://www.klv.co.jp/product/sc-light-source/spl1000.html
コンパクトかつ高出力を実現したSC光源をご紹介いたします。
■超高感度 CCDカメラ
https://www.klv.co.jp/product/euv-xray-camera/
VUV、EUV、X線領域に対応した超高感度のGreateyes社のCCDカメラをご紹介いたします。
高感度のCCDと冷却技術により、超低ノイズ、高SN比を実現し、微弱信号を検出することが可能です。
■表面検査装置
https://www.klv.co.jp/product/semiconductor/vepioneer.html
ベンチトップ型の表面検査装置です。
AI搭載のソフトウェアにより、積層構造、含有物、クラック、スクラッチ、ピンホール、コンタミネーション、デブリ、膜厚勾配など、お客様のニーズに合わせて検査が可能です。
■CQDセンサ搭載SWIRカメラ
https://www.klv.co.jp/product/infraredcamera/ray1.html
CQDセンサー、冷却機構(TEC)を搭載した、SWIR(近赤外)カメラです。
センサーに最適なカスタムレンズ付きで、欠陥画像補正やヒスとグラム表示などのデジタル画像処理に対応しています。
■スペクトルカメラ/高分解能、高性能小型分光器
半導体プロセスでの測定検査、リアルタイムモニタリングにご使用いただけるスペクトルカメラや、小型分光器を出展いたします。