速さと精密さを両立させる、Nanomotion社の真空対応超音波モータと位置決めステージを紹介します
半導体製造で使用されている電子ビームや集束イオンビーム向けの多軸ステージ、大気中での検査用に使える多軸ステージを紹介します。
いずれのステージもNanomotion社の超音波モータで駆動させています。展示会ではデモ・ステージを展示し、高速移動と精密位置決めを実際にご覧いただけます。
超音波モータ駆動ステージは、当社と技術打合せをしながらNanomotion社にてカスタム設計・製造も可能です。
クリーン、真空、非磁性、超高精度（サブナノメートルの分解能）など特殊環境下での使用に適合する超音波モータを中心に、半導体製造装置や試験・分析機器、ロボットなど、25 年以上の実績を誇り安心してご使用いただけるNanomotion社の超音波モータ製品群を、ぜひ当社ブースでご覧ください。