ウエハの形状測定でお困りのお客様へベストフィットするご提案をいたします。 是非ブースまで足をお運びください。
● ウエハ向け形状測定システム【 Dyvoce（ダイボス） 】 ・ 小口径から大口径まで測定可能 ・ SEMI規格対応 ・ 自重たわみ補正による真の形状評価 ・ 枚葉機/自動機 ・ 応力解析：形状測定のデータから成膜ウエハ・ベアウエハの応力を解析 ・ TAIKOウエハ形状測定（自動機のみ）
● ウエハアライメント用ステージユニット【 RST Aligner 】 ・ テーブルサイズ自在 ・ 大口径透過穴対応 ・ 6軸アライメント ・ 100nmピッチの往復ステップでもフィードバック不要
・1ton耐荷重仕様も製作可能
● ハンドラー用高耐荷重ステージ
・6軸アライメント
・高速駆動や薄型ロングストロークなど、多彩なZステージをご提案可能
・多ピン化、マルチサイト化による通電検査時の高負荷にも耐えうる高強度ステージ
φ6～12インチに対応。
反り測定ではウエハの自重たわみを補正して真の反り形状・反り量を算出して評価可能です。
その結果から、ベア/成膜応力の解析、サイト評価も可能です。
TAIKOウエハの加工形状測定も可能になっています。
枚葉機では様々なサイズのウエハに対応しています。
SEMIに準じた測定項目を反り・厚みともに解析し、反り測定ではウエハの自重たわみを補正して真の反り形状・反り量を算出して評価可能です。
また、インライン装置でのウエハの反りを再現するなどお客様が要求する条件でのウエハの形状を解析します。さらに、ベア/成膜応力、サイト評価の解析アプリを用意しています。