先端技術に対応した300mm向け装置を中心にIoT向け200mm装置と様々なサービスソリューションをご紹介します。
■出展の見どころ 「株式会社KOKUSAI ELECTRIC」では先端技術に対応した300mm向け装置を中心とした製品ラインナップやIoT向け200mm装置と様々なサービスソリューションをご紹介します。
■出展製品
・高生産性300mmバッチサーマル縦型装置 「AdvancedAce®シリーズ」
・高品質成膜・高性能半導体製造装置「TSURUGI-C²® 剱®」
・枚葉プラズマ窒化・酸化装置「MARORA®」
・200mmバッチサーマル装置(VERTEX®-Ⅲ)
・サービスソリューション https://www.kokusai-electric.com/kss/
容積の最小化に加えて最適化したウェーハ反応炉と大排気採用 ーローディング効果を低減し、膜厚均一性を向上 ー反応ガスの置換効率向上により、成膜処理時間を短縮
低発塵・高速ウェーハ搬送システム
高生産性・省フットプリント化(従来比-10%)
剱のロゴは株式会社 KOKUSAI ELECTRICの登録商標です。
300mm
高生産性の実現:最大1.75倍※のロット処理を実現(※当社比)
深溝形状への均一な膜形成
低温で高精度・高品質な成膜を実現
ヘルスチェック機能(オプション)
AdvancedAceは株式会社KOKUSAI ELECTRICの登録商標です。
高スループット 従来モデルの最大2倍の生産性を実現
MMTプラズマ源搭載 基板表面におけるプラズマの高均一化とプラズマの低電子温度化(~1eV)を実現
広範囲の温度制御可能 高温ヒーターを搭載
豊富なアプリケーション プラズマ酸化、プラズマ窒化に加えて、メタルを酸化せずにSiを選択的に酸化する「選択酸化」が可能
MMT=Modified Magnetron Typed
MARORAは株式会社KOKUSAI ELECTRICの登録商標です。
豊富な納入実績を誇るVERTEX®シリーズとのプロセス互換性を確保
300mm装置の最新設計を取り入れ、処理速度が向上しました
高生産性炉(175枚処理)および低天井対応炉(100枚処理)のオプションを用意
雰囲気制御で大気中の酸素濃度や湿度に敏感なプロセスに対応(オプション)
コントローラを最新のアーキテクチャに刷新し、処理性能向上及び生産中止リスク払拭
VERTEXは株式会社KOKUSAI ELECTRICの登録商標です。
200mm