KOKUSAI ELECTRIC

千代田区,  東京都 
Japan
https://www.kokusai-electric.com/
  • 小間番号4647


先端技術に対応した300mm向け装置を中心にIoT向け200mm装置と様々なサービスソリューションをご紹介します。

■出展の見どころ
「株式会社KOKUSAI ELECTRIC」では先端技術に対応した300mm向け装置を中心とした製品ラインナップやIoT向け200mm装置と様々なサービスソリューションをご紹介します。

■出展製品

・高生産性300mmバッチサーマル縦型装置 「AdvancedAce®シリーズ」

・高品質成膜・高性能半導体製造装置「TSURUGI-C²®  剱®

・枚葉プラズマ窒化・酸化装置「MARORA®

・200mmバッチサーマル装置(VERTEX®-Ⅲ)

・サービスソリューション https://www.kokusai-electric.com/kss/

お気軽に当社ブースへのご来場頂きますようお願い申し上げます。


 出展製品

  • Advanced TSURUGI Plus-Ⅲ 剱
    Advanced TSURUGI 剱は、構造の微細化・複雑化が進む次世代デバイスに対して高難易度成膜と高生産性を両立するサーマルプロセス装置です。三次元積層デバイスへの高難易度成膜を実現する新反応炉を採用することにより、高品質なプロセス提供を可能としました。...

  • 特長

    • 容積の最小化に加えて最適化したウェーハ反応炉と大排気採用
      ーローディング効果を低減し、膜厚均一性を向上
      ー反応ガスの置換効率向上により、成膜処理時間を短縮

    • 低発塵・高速ウェーハ搬送システム

    • 高生産性・省フットプリント化(従来比-10%)

    剱のロゴは株式会社 KOKUSAI ELECTRICの登録商標です。

    対応ウェーハサイズ

    • 300mm

  • 高生産性300mmバッチサーマル縦型装置 「AdvancedAce®シリーズ」
    AdvancedAce®-II(アドバンスドエースⅡ)は、当社のコア技術である温度制御技術、自動搬送技術、真空・ガス置換技術、冷却技術、成膜技術を結集することで、飛躍的にサイクル時間を短縮し、高スループットを実現したサーマルプロセス装置です。...

  • 特長

    • 高生産性の実現:最大1.75倍のロット処理を実現(※当社比)

    • 深溝形状への均一な膜形成

    • 低温で高精度・高品質な成膜を実現

    • ヘルスチェック機能(オプション)

    AdvancedAceは株式会社KOKUSAI ELECTRICの登録商標です。

    対応ウェーハサイズ

    • 300mm

  • トリートメント(膜質改善)プロセス装置
    トリートメント(膜質改善)プロセス装置は、形成した薄膜にプラズマや熱を加えることで膜中の不純物を除去し、粒子を安定させて膜質を改善させる装置です。 近年、半導体デバイスの微細化、複雑化に伴って、低温環境での膜質改善を可能にするトリートメント技術に対する需要が拡大しています。 当社グループでは、窒化・酸化やキュア・アニールに対応したトリートメント装置を提供しており、世界中の半導体デバイスメーカーから高い評価をいただいています。 ...

  • 特長

    • 高スループット
      従来モデルの最大2倍の生産性を実現

    • MMTプラズマ源搭載
      基板表面におけるプラズマの高均一化とプラズマの低電子温度化(~1eV)を実現

    • 広範囲の温度制御可能
      高温ヒーターを搭載

    • 豊富なアプリケーション
      プラズマ酸化、プラズマ窒化に加えて、メタルを酸化せずにSiを選択的に酸化する「選択酸化」が可能

    MMT=Modified Magnetron Typed

    MARORAは株式会社KOKUSAI ELECTRICの登録商標です。

    対応ウェーハサイズ

    • 300mm

  • VERTEX® Revolution
    豊富な納入実績を誇るベストセラー装置200mmウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置のVERTEX®(ベルテックス)シリーズの最新版が「VERTEX® Revolution」です。 少量多品種ラインから大量生産ラインまで、お客様のニーズに最適な機種をお選びいただくことができ、200mmウェーハ以外の150mmウェーハ以下も対応可能です。...

  • 特長

    • 豊富な納入実績を誇るVERTEX®シリーズとのプロセス互換性を確保

    • 300mm装置の最新設計を取り入れ、処理速度が向上しました

    • 高生産性炉(175枚処理)および低天井対応炉(100枚処理)のオプションを用意

    • 雰囲気制御で大気中の酸素濃度や湿度に敏感なプロセスに対応(オプション)

    • コントローラを最新のアーキテクチャに刷新し、処理性能向上及び生産中止リスク払拭

    VERTEXは株式会社KOKUSAI ELECTRICの登録商標です。

    対応ウェーハサイズ

    • 200mm