コフロック

京田辺市草内当ノ木1-3,  京都府 
Japan
https://www.kofloc.co.jp
  • 小間番号6303


弊社は流量計メーカーとして、流量計測・制御技術を探求し続け、今年創業75周年を迎えました。

今年のセミコンでは、半導体製造工程の薬液ラインで使用できる耐薬品性に優れたダイヤフラム式流量制御バルブ「KSFV-100」や、CVD等に適したPI機能搭載メタルシールマスフローコントローラ「ST-500」を披露致します。
また、ブースでは新製品を用いた微少流量制御のデモンストレーションも行いますので、ぜひ実機をご覧ください。


 出展製品

  • MODEL KSFV-100 SERIES
    【デモ実施】ダイヤフラム式ソレノイドアクチュエータバルブ ■特殊溶着構造でコンタミネーション残留無しリークの懸念も不要 ■H₂O換算で数mL/minからの精密な流量制御が可能 ■流量の精密制御とシャットオフの二つの役割を兼ね備える ■接流体部PTFE ■流量範囲(H₂O):0~500mL/min ...

  • ダイヤフラム式ソレノイドアクチュエータバルブ

    【デモ実施】MODEL KSFV-100 SERIES

    特徴

    ■特殊溶着構造でコンタミネーション残留無し
     リークの懸念も不要
    ■H₂O換算で数mL/minからの精密な流量制御が可能
    ■流量の精密制御とシャットオフの二つの役割を兼ね備える
    ■接流体部PTFE
    ■流量範囲(H₂O):0~500mL/min

    標準仕様

    MODEL:KSFV-101
    対象流体:純水、薬液、腐蝕性ガス等
    流量範囲(H2O):0~500mL/min
    動作差圧:0.05~0.3MPa
    入口最大圧:0.3MPa(G)
    耐圧:1MPa(G)
    流体温度:25℃ ±5℃
    接流体部材質:PTFE
    入力信号:4~20mA
    所要電源:24VDC
    接続:1/4”チューブエンド、Rc1/4

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  • MODEL KAFV-100 SERIES
    ダイヤフラム式エアオペレーションバルブ ■特殊溶着構造でコンタミネーション残留無し リークの懸念も不要 ■接流体部PTFE ■コンパクト設計 ■流量範囲(H₂O):0~4L/min ...

  • ダイヤフラム式エアオペレーションバルブ

    MODEL KAFV-100 SERIES

    特徴

    ■特殊溶着構造でコンタミネーション残留無し 
      リークの懸念も不要
    ■接流体部PTFE
    ■コンパクト設計
    ■流量範囲(H₂O):0~4L/min

    標準仕様

    MODEL:KAFV-101
    対象流体:純水、薬液、腐蝕性ガス等
    CV値:0.175
    動作差圧:0.05~0.3MPa
    周囲温度:0~60℃
    最高使用圧力:1MPa(G)
    最高使用温度:90℃
    接流体部材質:PTFE
    接続:1/4”チューブエンド、Rc1/4、

    操作部 使用圧力: IN:0.4~0.6MPa
    操作部 接続: 1/8 NPT (IN:Xポート、 Exh:Yポート)

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  • MODEL ST-500 SERIES
    PIマスフローコントローラ ■PI … Pressure Insensitive圧力変動に対し安定した流量制御が可能 ■ダイヤフラム式バルブ採用のメタルシール  MFCで、EP処理及び酸化被膜処理により腐蝕性流体に対応 ■DeviceNet®、EtherCAT®通信対応 ■IGS Wシール継手対応 ■S.P.精度で高精度な計測制御が可能、全流量制御範囲 応答1sec以内 ■専用アプリによるマルチレンジ機能(30~110%F.S.) ...

  • PIマスフローコントローラ

    MODEL ST-500 SERIES

    ■PI … Pressure Insensitive圧力変動に対し安定した流量制御が可能
    ■ダイヤフラム式バルブ採用のメタルシール
     MFCで、EP処理及び酸化被膜処理により腐蝕性流体に対応
    ■DeviceNet®、EtherCAT®通信対応
    ■IGS Wシール継手対応
    ■S.P.精度で高精度な計測制御が可能、全流量制御範囲 応答1sec以内
    ■専用アプリによるマルチレンジ機能(30~110%F.S.)

    対象流体:気体
    最大流量:気体 100SCCM~30SLM
    精度:±1%S.P.(10~100%F.S.)
       ±0.1%F.S.(2~10%F.S.)

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  • MODEL FML-300 SERIES
    温度補正付小型カルマン渦流量計 ■温度センサ搭載により流体温度を計測、温度補正により液温変化による精度誤差軽減 ■Oリングレス設計で接液部はオールNew PFA(オーリングレス) ■コンパクト設計 ■幅広い流量レンジに対応(0.3~2.5L/minから25~250L/minまで) ■IP65相当の防水性 ■12-24VDC単一電源による駆動 ...

  • 温度補正付小型カルマン渦流量計

    MODEL FML-300 SERIES

    ■温度センサ搭載により流体温度を計測、温度補正により液温変化による精度誤差軽減
    ■Oリングレス設計で接液部はオールNew PFA(オーリングレス)
    ■コンパクト設計
    ■幅広い流量レンジに対応(0.3~2.5L/minから25~250L/minまで)
    ■IP65相当の防水性

    ■12-24VDC単一電源による駆動

    対象流体:液体 水、純水、薬液
    最大流量:液体 2.5~250L/min
    精度:±2~3%F.S.

    ⋆*第35回中小企業優秀新技術・新製品賞(奨励賞)*⋆
      主催:りそな中小企業振興財団 日刊工業新聞社

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  • MODEL 8700 SERIES
    表示器付マスフローコントローラ/メータ ■幅広い流量レンジに対応(N₂換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで) ■表示器一体型で各種機能使用可能  瞬時/積算流量表示、アラーム設定ほか ■RS485通信機能あり、アナログ入出力0-5VDC(4-20mAに変更可能) ...

  • 表示器付マスフローコントローラ/メータ

    MODEL 8700 SERIES

    特徴

    ■幅広い流量レンジに対応(N₂換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで)
    ■表示器一体型で各種機能使用可能
      瞬時/積算流量表示、アラーム設定ほか
    ■RS485通信機能あり、アナログ入出力0-5VDC(4-20mAに変更可能)

    対象流体:気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等
    最大流量:気体 10SCCM~100SLM
    精度:±1~1.5%F.S.

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