■プラズマソース・プラズマコンポーネント
ミューグ社のプラズマコンポーネントは、技術革新の速いプラズマテクノロジー業界のあらゆるシーンで活躍しています。
プラズマ技術は、品質、生産性、環境適合性、高精度/フレキシブル性などが要求される場面で欠かせない技術です。プラズマ技術の限りない可能性は、エレクトロニクス、医療、自動車、精密機械産業のみならず、繊維、光学加工及び光電セル製造などに応用されています。
ミューグ社は、保有するプラズマ技術およびプラント技術で、お客様の技術革新をバックアップしており、同時にプラズマ関連の様々な特許を有しております。ミューグ社の独創的な製品で、最新のプラズマ技術へのアプローチが可能となります。
下記はミューグ社のプラズマコンポーネントの一例です。
マイクロ波プラズマ
ポテンシャルフリープラズマ
ダメージフリープラズマ
大気圧プラズマ
常圧プラズマ
■マイクロ波ジェネレータ(マイクロ波電源)
915MHz/2450MHz帯のマイクロ波電源・マグネトロンヘッドを供給しております。
915MHz電源: 19インチラック本体または独立キャビネ搭載
2450MHz Low Power電源(6KW以下):
19"ラック本体/リモートマグネトロンヘッド
2450MHz High Power電源(6kW以上):
19"ラック本体または独立キャビネ搭載/アイソレータ・方向性結合器標準装備
※OEM用カスタム電源もご提案可能、既存アプリケーションからの置換等お気軽にご相談ください。製品は自社製造のため、お客様がご希望の装置レイアウト、出力レベル、入力電圧、制御パッケージ等のカスタムが可能で、迅速なご提案をさせて頂きます。
■マグネトロン
915MHz,2450MHz,5800MHz帯の様々なマグネトロンを取り揃えております。
東芝製、パナソニック製、日立製、CTL製などの代表的なマグネトロンが使用可能です。
○915MHz帯:5KW ~ 100KW
○2450MHz帯:300W ~ 30KW
※御客様にアプリケーションに対応したカスタムも承ります。
また、カスタム冷却方式、電磁石・消磁機能追加、既存装置の置換等
様々な御要望に対応致します。
■プラズマシステム
MEMS製品の製造メーカ - 精密時計産業等 - で多用されているプロセスで、リソグラフィ技術と電気析出技術を組み合わせた"LIGA"プロセスと呼ばれる技術があります。
これはエポキシベースの"SU-8レジスト"を用いて、数百ミクロンの厚さを持つ精密金属部品を生成可能するものです。
しかしこの"SU-8レジスト"は、ケミカルエッチングを使用する従来の工法では、部品取外しの際に使用する薬品により、生成された部品表面の侵食による影響が避けられませんでした。
ミューグ社の"MUEGGE-R3T プラズマシステム"では、毎分20umのエッチングレートを実現、"SU-8レジスト"のみを選択的に侵食します。バッチモードで6インチウエハーを同時にストリップ処理した場合は、金属表面を侵すことなく、過熱の恐れがない状態で毎時200umのレートでレジスト除去が可能です。
高信頼性・高効率の"SU-8レジスト除去技術"が開発されたことにより、"SU-8レジスト"のアプリケーションがさらに広がるという相乗効果も表れております。
*小型プラズマエッチングシステム:STP Compact
卓上型サイズを実現した小型ストリッピングツールの”STPコンパクト”は、研究施設や小規模ラボでの用途に適した設計となっております。
<製品仕様>
外形寸法: W=800mm, L=800mm, H=800mm
供試体:1x8", 1x6", 1x4" ウェハー
周辺装置:真空ポンプ(250m3/h)
:ガス浄化システム(ドライアブソーバ)