弊社は半導体製造プロセスの効率化に貢献するAnsysを中心としたCAEソリューションをご紹介しています。
サイバネットシステムブースでは「半導体製造プロセスにおけるシミュレーションによる効率化」をテーマに、半導体製造プロセスを設計・前工程・後工程・製品に分類し、それぞれのフェーズで物を作る前の事前検証に役立つAnsysを中心としたソリューションをご提案します。CAEなどのシミュレーションを活用することで、作る前に現象を把握でき、事前対策をうてます。それにより歩留まり向上や開発・製造リードタイムの短縮に役立ちます。
当社ブースにおいては、半導体製造プロセスの前工程におけるプラズマCVDの挙動などについてAnsys Charege Plusによるシミュレーション事例をご紹介します。