波長掃引型フォトニクスアナライザ(SPA-110)は、santec波長可変レーザ (TSLシリーズ)のアドオンモジュールとして機能し、フォトニクスデバイス評価に要求される3つの機能(反射点計測, 波長依存損失計測, 近接センシング)を提供する分析装置です。広帯域波長可変のTSLと組み合わせることで、フォトニクスデバイスの損失点の位置を5μmの高い分解能で検出できます。また、光コヒーレント検出技術を採用したことにより、1 回の波長掃引で80dBを超える広いダイナミックレンジで波長依存損失(WDL)が測定できます。さらに、特許取得済みの近接センシング機能が、ファイバプローブとデバイス間の精密な距離測定を実現し、シリコンフォトニクスデバイス生産ラインにおいてウェハレベル特性評価時のアライメント工程を容易にします。なお、測定距離を従来機(SPA-100)の6倍以上となる30mまで拡大し、測定距離に余裕をもってご利用いただけるようなりました。