santec Japan

小牧市,  Aichi 
Japan
http://www.santec.com
  • 小間番号6334

当社は最先端の光技術を駆使した計測器の製品開発、製造、販売を行う光技術のパイオニア企業です。

2024年9月にリリースした新製品の波長掃引型フォトニクスアナライザ「SPA-110」、

また高精度ウエハ厚分布計測器「TMS-2000」のデモンストレーションを行います。

皆様のご来場をお待ちしております。


 出展製品

  • ウエハ厚分布測定器 TMS-2000
    TMS-2000はウエハの厚み分布を非接触で計測し、平坦度を1 nmの精度で計測可能です。インライン検査を含め、高スループットを活かした幅広いアプリケーションへの導入が可能です。...

  • Si(高ドープ品も可能)/SiC/GaN/サファイア/ガラス/LiNbO3/SOIなど様々な材料の厚さをサブナノメートルの精度で測定します。
    卓上サイズに収めた筐体に高性能な波長可変光源を搭載し、超高速(30,000点/秒)かつ高密度に厚さ分布を測定可能です。
    直観的な操作の専用ソフトウェアは多彩な解析機能を搭載しております。設置に特別な温度制御や除振設備は必要ありません。

  • 波長掃引型 フォトニクスアナライザ SPA-110
    波長掃引型フォトニクスアナライザ(SPA-110)は、OFDR (Optical Frequency Domain Reflectometry)技術を用い、フォトニクスデバイス評価に要求される3つの機能(反射点計測, 波長依存損失計測, 近接センシング)を提供する分析装置です。...

  • 波長掃引型フォトニクスアナライザ(SPA-110)は、santec波長可変レーザ (TSLシリーズ)のアドオンモジュールとして機能し、フォトニクスデバイス評価に要求される3つの機能(反射点計測, 波長依存損失計測, 近接センシング)を提供する分析装置です。広帯域波長可変のTSLと組み合わせることで、フォトニクスデバイスの損失点の位置を5μmの高い分解能で検出できます。また、光コヒーレント検出技術を採用したことにより、1 回の波長掃引で80dBを超える広いダイナミックレンジで波長依存損失(WDL)が測定できます。さらに、特許取得済みの近接センシング機能が、ファイバプローブとデバイス間の精密な距離測定を実現し、シリコンフォトニクスデバイス生産ラインにおいてウェハレベル特性評価時のアライメント工程を容易にします。なお、測定距離を従来機(SPA-100)の6倍以上となる30mまで拡大し、測定距離に余裕をもってご利用いただけるようなりました。