「EXSEV®-WS」:保持器を用いず、二硫化タングステン系自己潤滑複合材のセパレータを採用することで、耐熱性・耐荷重性が要求される真空環境に適応。
「EXSEV®-EX」:パーフルオロオクタン酸(PFOA)フリーで環境負荷の小さいふっ素グリース、及びこれを封入した低発塵軸受EXSEV®-EX です。従来品に対してさらに発塵量を低減するなど、優れた性能を有しながら環境規制にも対応したことで、半導体製造装置の環境負荷低減に広く貢献します。
「NEWクリーンプロ®-PR」:高度なクリーン環境では、特殊ふっ素高分子膜がコーティングされたNewクリーンプロベアリングが使用されます。従来品に対して、アウトガス量は同等、発塵量は半分以下、発塵寿命は10倍以上と、軸受性能の大幅な向上を実現したことで、製造装置の信頼性向上、ランニングコストの低減に貢献します。