芝浦エレテック

横浜市栄区笠間,  神奈川県 
Japan
https://www.shibaura.co.jp/eletec/
  • 小間番号5621

「心と技術で未来をつくるサービス会社」をモットーとして、お客様と共に成長し、
歩み続けられるように邁進いたします。
幅広い分野・業種の協力会社と連携し、芝浦エレテック独自のサービスを提供します。

■キノシステム®
 設備の状況を見えるか!故障の予知、メンテサイクルの最適化で稼働率UP
 
グラフィカルアナライザ キノシステム®」を出展します。
 出展します。特徴は「その場で改善ポイントがみつかる」「取付簡単で効果を実感できる」
 「フレキシブルなカスタマイズ」。課題を発見しメンテナンスサービスまでサポートします。
 ①見えないトラブルの「見える化」を支援
 ②データを作る、グラフを作成するなどの手間を一切排除
 ③トラブル発見からメンテナンスまでをトータルサポート

レチクル(フォトマスク)移載機
 レチクル(フォトマスク)の移し替え作業を自動化し、安全で確実なクリーン搬送を
 実現した移載装置「レチクル(フォトマスク)移載機」を展示します。
 お客様のニーズに合わせた完全オリジナルのソリューションです。

■半導体製造装置用 部品の精密洗浄と再生


 出展製品

  • グラフィカルアナライザ キノシステム®
    設備の状況を 見える化! 故障の予知、メンテサイクルの最適化で 稼働率UP! 装置・設備でのトラブル原因の解明や安定稼働に! グラフィカルアナライザ キノシステム®で お客様のご要望をフレキシブルに対応いたします。...

  • キノシステム®の特徴は「その場で改善ポイントがみつかる」「取付簡単で効果を実感できる」「フレキシブルなカスタマイズ」です。導入いただければ、故障の予知、メンテサイクルの最適化で生産設備の稼働と生産性が向上できます。また、当社ではキノシステム®で取得したデータから改善のアドバイス、データ分析、施工も実施します。
    お客様のご要望にもフレキシブルに対応いたしますので、カスタマイズで様々なことが実現可能です。半導体工場様向けのカスタム事例のご紹介もおこなっております。
    ■課題を発見しメンテナンスサービスまでサポートします。
      ①見えないトラブルの「見える化」を支援
    ②データを作る、グラフを作成するなどの手間を一切排除
    ③トラブル発見からメンテナンスまでをトータルサポート
  • レチクル(フォトマスク)移載機
    レチクルの移し替え作業を自動化し、安全で確実なクリーン搬送を実現した移載装置です。 各種ケースへの対応、レチクルサイズの変更、ブロー機能追加など、ご要望に応じ、カスタム対応します。...

  • 作業者がハンドツールを用いて移し替えていた従来の工程を自動化します。
    〇自動化することで、手作業でのリスクが低減できます。
    ・掴み損ねによる落下やキズの付着、ペリクル膜の破損
    ・人から発生するゴミ、汚れの付着
    ・人から発生する静電気によるパターン回路の破壊

    〇シンプルな操作でカセット間レチクルの移し替えを安全・確実におこないます。

    〇ご要望に応じ、カスタム対応します
    ・各種ケースへの対応
    ・レチクルサイズの変更
    ・ブロー機能追加 etc

  • 半導体製造装置用部品の精密洗浄と再生
    芝浦グループで培った技術を応用し、部品の精密洗浄と再生を提供します。 半導体装置部品の精密洗浄と各種溶射膜の剥離及び高性能なアルマイト、 高純度な溶射膜などを再生するサービスを提供します。 ...

  • ■洗浄
    アルマイト部品や石英部品等、各種洗浄に対応できます。
    洗浄品の付着物の分析、DMS(デジタルマイクロスコープ)による洗浄前後の
    比較写真も合わせてご相談ください。

    ・各社半導体製造装置部品の精密洗浄
     - 各種プロセス装置部品の精密洗浄に対応します
    ・ドライエッチング装置やCVD装置部品の反応生成物除去
     - 各種溶射膜表面の反応生成物除去洗浄にも対応します
    ・各社成膜装置部品の洗浄
     - スパッタ、蒸着装置部品の洗浄と各種溶射膜の再生に対応します
    ・液晶マスクの洗浄
    ・配管部品・各種バルブの精密洗浄
     - 分解、洗浄、組立、動作試験を行なって出荷します
    ・真空ポンプの分解洗浄

    ■再生
    アルマイト処理、アルミナ溶射、Y2O3溶射等、各種膜に対応できます。
    従来のアルマイト処理はもちろんのこと、高密度で寿命の長いドリームアルマイト処理も
    ご提供します。

  • ガスフローコントローラ(Gas Flow Controller:GFC)
    従来のマスフローコントローラ(MFC)の機能・性能を大幅に改善・向上させたガスフローコントローラです。...

  • 従来のマスフローコントローラの課題
     •デポガス、腐食ガス(Cl2, SiH4等)による目詰まりや0点ずれを防ぎたい
     •マスフローコントローラのリークをなくしたい
     •より精度の高い流量制御を達成したい
     •マスフローコントローラで0.025sccmを制御したい
     •マスフローコントローラの応答性を改善したい
     •ガスを高速に切り替えるプロセスへ対応したい
     •上流側圧、下流側圧の変動によるプロセス影響を改善したい
     •ガス流量問題発生時、プロセス装置側、マスフローコントローラ側か原因を切り分けたい
     •マスフローコントローラの機差を改善したい
     •プロセス装置のガスラインを増やしたい
     •マスフローコントローラの在庫数を減らしたい etc.

    ガスフローコントローラで課題を解決!
     •広範囲な流量レンジ
      ⇒ Full Scale 0.5~100%
     •高精度な流量制御
      ⇒ Set Point +/-0.5%
     •高速な応答性(立ち上り/立ち下り速度)
      ⇒ ≦100ms@10-100% Full Scale
      ⇒ ≦[email protected]% Full Scale
     •圧力/温度変動の影響を受けない
      ⇒ キャリブレーション不要
     •リアルタイムモニタリング機能
      ⇒ 30種以上の内部情報をリアルタイムでモニタリングし、情報のアウトプット、
         自己診断機能搭載

  • 生産設備のパソコン老朽化対策
    メーカーのサポートが終了したパソコンの修理や部品販売、HDDのクローン化やデータ復旧、稼動中のPC-98システムを最新OSに置き換えるエミュレータ化も承ります。...

  • ■パソコン修理・部品販売
     メーカーのサポートが終了したパソコンの修理や部品販売を承ります

    ■データ資産の保護
     HDDのクローン化やデータ復旧を承ります

    ■PC-98エミュレータ化
     稼動中のPC-98システムを最新OSに置き換えます