1.ウェーハ製造工程向け枚葉式洗浄装置 SC300-CC series および SC300-FC series
SC300-CC seriesでは研磨機とドッキングした連続処理が可能で、ブラシチャンバーにて物理的にスラリーなどを除去し、スピンチャンバーで高品質な洗浄処理が可能です。ウェーハ洗浄向けのSC Seriesは複数の装置ラインナップがあり、必要なスループットに合わせて最適な装置構成をご提案致します。お気軽にお問合せください。
2.等方性ドライエッチング装置 CDE series
プラズマ生成部が、プロセスチャンバーと完全に分離しているリモートプラズマ機構の採用により、プラズマダメージフリーの等方性エッチングを提供します。ロジック、メモリ、イメージセンサ、パワー半導体、MEMSなど、各種デバイスで採用実績がございます。3,4,5,6,8,12インチのウェーハに対応するラインナップがあり、SiC/GaNなどの用途にも適応拡大中です。
3.枚葉式高温リン酸エッチング装置 SC300-HT series
先端Logic工程に実績が多数ある高温リン酸の枚葉式エッチング装置です。独自に開発したウェーハ近接ヒータを用いて、高温で供給されるリン酸の温度をウェーハ上で制御することで、均一なエッチングプロファイルを実現することができます。またこのヒータの特徴として複数のエリアに分割配置され、独立して温度制御することが可能なため、均一なプロファイルはもちろんの事お客様が求めるエッチング形状に調整が出来ます。弊社のエッチングプロファイル制御技術でお客様の製品へ新たな可能性を提供します。