小間番号6941
神戸市パビリオン内の当社ブースでは新技術を採用した高密度スパッタリング装置をご紹介致します
いずれの技術も反応性膜で緻密かつ平坦性の高い膜質を作り出すことが可能です。
SiCやGaNパワーデバイス、5G、RFデバイス、MEMSや磁気センサー向けの製造装置をご紹介させていただきます。
”2023年関西ものづくり新撰2023、近畿地方発明表彰、2023年度JVIA大賞受賞”
⑴アーク放電型マグネトロンスパッタリング装置/ADMS:緻密かつ平滑性の高い膜質、低圧成膜による
指向性成膜も可能
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⑵リモートターゲット型プラズマ製膜装置:緻密な反応膜、低温プロセスの実現、薄膜での安定
した膜質、大口径への均一成膜
ぜひ、神港精機ブースにお立ち寄り頂きたく、社員一同皆様のご来場を心よりお待ちして
おります。
出展製品