前工程から後工程まで、 最先端プロセスを支える搬送システムソリューション
今回、後工程の自動化に向け期待が高まる「Panel FOUP ロードポート」を初出展します。
また、「Tape Frame FOUPロードポート」はSEMI規格の2機種を揃え展示いたします。
前工程向けでは「EFEM」を中心に、「300/200mm自動切換え機能搭載ロードポート」や、「SMIF ロードポート」のデモンストレーションなど、幅広いラインナップをご覧いただけます。
さらに高効率な環境コントロールを可能にした「N₂ EFEM」をCG映像と、拡張が進んだ豊橋工場、タイ工場をドローン映像でご紹介いたします。
展示製品
前工程製品
・EFEM(3ポート)
・SMIF ロードポート
・300/200mm自動切換え機能搭載ロードポート SELOP-8.1
後工程製品
・Tape Frame FOUP対応 ロードポート(SEMI E63、E184)
・Panel FOUP対応 ロードポート(NEW)
その他
・ダイレクトドライブモータ
映像
・N2 EFEM
・拡張工場のご紹介
製品に関するお問い合わせはこちらまでお願いいたします。