SCREENセミコンダクターソリューションズ

京都市,  京都府 
Japan
https://www.screen.co.jp/spe/
  • 小間番号5746

世界No.1のシェアを誇るウェーハ洗浄装置をはじめ、コータ・デベロッパ、熱処理装置、検査・計測装置など、多彩な半導体製造装置のラインアップを展示します。

「AI」「IoT」「5G」「データセンター」「電気自動車」「自動運転」といった社会変革のコアデバイスとなる半導体。その製造を支える、SCREENの先進テクノロジーとイノベーションをご紹介します。


 出展製品

  • 枚葉式洗浄装置「SU-3400」
    さらなる進化をとげる、世界シェアNo.1* 洗浄装置 (*当社調べ)...

  • FEATURES

    • 最大毎時1,200枚のハイスループットで高い生産性を実現
    • フットプリント30%削減(※従来比)
    • 環境負荷(排気/窒素/薬液)を低減
    • ビッグデータを活用した安定稼働とカメラ監視によるトラブル防止を実現
  • スピンスクラバ「SS-3300S」
    16チャンバ搭載、最大毎時1,000枚のハイスループットを実現した次世代スピンスクラバ...

  • FEATURES

    • デュアル搬送システムにより、生産性が向上
    • 8チャンバの「SS-3200」2台と比べ、フットプリントを27%削減
    • 幅広いプロセスに対応。独自のスプレー技術、ブラシ機能をオプションで搭載可能
  • パターン付きウェーハ外観検査装置「ZI-3600」
    分解能の異なる3種類のレンズを搭載  高分解能と高生産性を両立したパターン付きウェーハ外観検査装置...

  • FEATURES

    • 従来比約2倍のスループットを実現
    • 1μm以下の微細欠陥の検出や不良解析が可能
    • 実際のウェーハ画像を確認しながら容易にレシピ作成が可能
  • コータ・デベロッパ「RF-200EX」
    パワーデバイス・車載デバイス向けコータ・デベロッパ...

  • FEATURES

    • レガシープロセスにもDUVプロセスにもフレキシブルに対応可能な拡張性
    • 300mm対応装置のユニット技術を、150~200mm専用の新プラットフォーム装置に移植
  • フラッシュランプアニール装置「LA-3100」
    最先端デバイスの特性改善に大きく貢献する、フラッシュランプアニール装置...

  • FEATURES

    • 短時間で幅広い温度範囲のアニールが可能
    • フラッシュアニールとアシスト加熱により、ミリ秒単位のアニールが可能
    • サブミリ秒単位での柔軟な温度プロファイル制御が可能