世界初の技術商材や半導体製造用装置向けのパーツを取り揃えて展示しています。是非、ご見学ください。
出展製品ご紹介(一部)
①株式会社ソラリス(SoLARIS)
中央大学発ベンチャー企業。世界初のミミズ型管内走行ロボットのデモンストレーションを行います。ミミズの移動様式を独自開発の空気圧人工筋肉の特性を利用することによりロボット化し、従来技術では困難だった小口径配管(100mm)の自立走行を実現しました。空気圧で駆動するため、防爆性にも優れています。
②Advanced Energy Co.,Ltd. (米国)
高周波の校正には欠かせないセンサーとメーターを一体型にしたTEGAM GEMINI®と対象デバイスのデータ記録、トラブルシュー ティングなどに活用できるPower Insight®を展示しています。
③CMTX Co.,Ltd. (韓国)
半導体製造設備用リング系パーツを多数取り扱っています。素材はセラミック、石英、サファイアも可能ですが中でもSiはインゴット素材から加工まで一環して製作しております。
④Nexensor Inc. (韓国)
世界初Deflectometry技術を用い、ウエハの反りを三次元で測定・可視化が可能な測定器nXF-3の実物を展示します。ウエハ表面の状態を問わず、全面を1スキャンで瞬時に計測が可能です。
⑤Woojin I&S Co.,Ltd (韓国)
耐化学性、耐熱性とコストを両立させた金属配管への先端コーティングのご紹介です。FM認定を取得しており、製作から施工までワンストップで対応可能です。半導体工場で多数の施工実績が御座います。