スピードファムオリジナルのキャリアは、豊富なキャリア素材、幅広いサイズが対応可能です。特にハイブリッドキャリアは、高精度両面加工において力を発揮します。加工物の端面とキャリアホール端面の接触によるチッピング、スクラッチ発生を抑制・金属母材厚みを高精度に制御が可能です。金属汚染対策としてDLC等特殊コーティングキャリアもご用意しております。
加工物の加工精度を左右する研磨PAD、スラリーも幅広いラインナップで取り揃えております。(研磨PAD:ウレタン、不織布、スウェード、スラリー:シリカ、セリウム、ダイヤ、ボロンカーバイト等)
消耗副資材の他、工場省力化・生産性向上に貢献できる、下記測定装置も取り扱っております。
光学式エッジ測定器 「エッジプロファイラー」:エッジ研磨後の素材(ウェーハ等)端面、角度、ノッチ部の検査を瞬時に行える検査装置です。2”~12”サイズまで対応可能で、 測定結果・画像の保存が可能です。