ソフトワークス

浜松市中区,  静岡県 
Japan
http://www.softworks.co.jp/
  • 小間番号6842


カスタマイズが可能な、高速3次元測定装置を提供いたします。

超高速3次元測定装置をパネル展示致します。

本装置は色収差共焦点原理を用いた高精度の超高速センサーにより、最大 6,000 ライン/の測定速度で、最大 100 万ポイント/(HSタイプ)を超える測定が可能です。大面積を短時間で検査測定する事が可能になります。測定ワークも選ばず鏡面でも測定可能で、センサーの入射光と検出光は同じ経路をたどるためシャドーイングを無視出来るので複雑な形状でも正確に測定できます。レンズ交換も短時間で可能です。卓上機から、全自動型インラインにも容易に対応致します。設置面積が小さい角度付きセンサーバージョンも選べます。


 プレスリリース

  • 本装置は色収差共焦点原理を用いた高精度の超高速センサーにより、最大 6,000 ライン/秒の測定速度で、
    最大 100 万ポイント/秒(HSタイプ)を超える測定が可能です。段差、異物、キズ、突起、膜厚などを大面積で短時間精密検査測定する事が可能になります。測定ワークも選ばず鏡面でも透明体でも測定可能です、センサーの入射光と検出光は同じ経路をたどるためシャドーイングを無視出来るので複雑な形状でも正確に測定できます。卓上機から、全自動型インラインにも容易に対応致します。設置面積が小さい角度付きセンサーバージョンも選べます。

 出展製品

  • AIとAOI技術を融合
    独自AIとAOI技術を融合する事で、多様な形状や発生箇所の不良を検査可能となり、検査工程の自動化範囲を拡大できます。...

  • AIによる本来は難しかった形状や発生箇所が様々な不良の検査が可能となります。AIとAOIを融合したソリューションを提供する事で、検査の自動化範囲を拡大させることができます。

    自社独自のAIアルコリズムにより、少数不良サンプルで、高い検出精度を確保しながら、低過検率を実現できます半導体業界においては、ワイヤボンディングとガラス基板の外観検査及び不良分類に活用しています。

    技術特徴:

    • 不良品検出率 > 99%
    • 誤判定率 < 0.5%
    • 必要な不良品サンプル < 100枚
    • 無償PoC:1ヶ月以内に提供
  • 異物検査装置
    従来の顕微鏡目視測定に比べ、高精度CMOSカメラにより 圧倒的な高精度、 高再現性を短時間で実現いたします。...

  • 本装置は高速高解像度カメラと特殊照明用いて異物測定を自動的に行います。 手動でサンプルを搭載し、検査は自動で行います。従来の顕微鏡目視測定に比べ、高精度CMOSカメラにより 圧倒的な高精度、高再現性を短時間で実現いたします。またインラインにも容易に対応致します。 
  • 化合物検査装置
    化合物系ウエハー検査装置です。8インチ迄のSic、Gan、サファイアウエハーなどの、 内部マイクロパイプや、脈離、表面傷、異物、研磨痕などの検査に有効です。...

  • 化合物系ウエハー検査装置です。8インチ迄のSic、Gan、サファイアウエハーなどの、 内部マイクロパイプや、脈離、表面傷、異物、研磨痕などの検査に有効です。 検査に、スーパーマクロ、微分干渉、暗視野、透過の4つ光学系を持ち、全ての光学系にオートフォーカスを 持ち、自動ステージにより同じ座標系での検査が可能です。 オプションで、同じ座標系に、AFMやウエハー厚さ測定を載せる事も可能です。 
  • 半導体業界におけるAI+AOIの応用
    当社独自のAI技術と従来のAOI自動化外観検査装置を組み合わせることで、半導体前後工程の外観検査における、検査範囲の拡大、検査精度のアップ、不良の自動分類を実現できます。...

  • 当社独自のAI技術と従来のAOI自動化外観検査装置を組み合わせることで、半導体の前後工程における変色・汚れ、異物、亀裂、表面傷、気泡などの微細な欠陥を検出可能、不良の分類も実現しました。

    • ガラス基板外観検査装置: 形状、サイズ、発生位置が異なる基板不良や異物不良の検査に対して、当社のAI不良検出と分類モデルにより自動化されました。不良検出精度は95%以上、誤検出率は0%に達成しました。
    • 3Dワイヤボンディング検査装置:従来のAOIでは検出が困難だったラック、傷、IC/フレーム上の異物付着、Agペーストの濡れ不足などの不良を、当社のAI技術により検出可能にしました。不良検出精度は98%に達成し、不良の分類や形状、発生位置の分析も可能でした。
    • IC/コネクター外観自動化検査装置:IC/コネクターの6面の外観検査(ハウジングの打痕、カバー破損・割れ、バリ、PINの欠品・変形、異物付着など)は、当社のAI自動化検査装置により自動化しました。不良検出精度は99.5%、誤検出率は0.5%以下に達成しました。
  • 原子間力顕微鏡(AFM)
    圧倒的な分解能を誇ります。今まで隠れていた微少な現象を測定致します。サイズは、わずかで奥行き幅、共に15cmの 超小型AFM...

  • 圧倒的な分解能を誇ります。今まで隠れていた微少な現象を測定致します。サイズは、わずかで奥行き幅、共に15cmの 超小型AFMで、プローブ付きで宅配便の混載でも大丈夫です。 SEMや高倍率の3次元光学顕微鏡の変わりに使用できます。測定モードも標準で、多彩です。走査ヘッドは、高分解能、広 域タイプの2種類が選択でき、その交換も、瞬時に行えます。プローブの交換も数秒です、交換後の調整は必要有りません。 また、カーボンナノチューブプローブもオートアプローチが可能です。スキャンに電磁スキャナー(特許取得済み)を使用す ることにより、スキャン時にワークを移動させることが有りません。一般にAFMで使用されているピエゾの持つ、非線形ク リープ、経年変化は有りません。オプションで、小型の自動ステージやインライン全自動機に対応致します。