これまで半導体製造装置で採用実績のある、
①ノイズ性能に優れた超低ノイズスイッチング電源 ②装置仕様に合わせたシステム電源、カスタムUPS ③気密性・絶縁性・耐圧性に優れたハーメチックコネクタ等のに加え、
④クリーン環境を測定するセンサ及び見える化システム ⑤最先端モーションコントロールソフトウェア ⑥クリーン環境で使用可能なベアケーブル加工 を展示いたします。
当製品はモベンシス製でございます
当日はデモ展示を行います