当社の展示ブースでは、前工程の重要なプロセスとなる露光装置のパネル・動画や当社装置で作成したサンプルを展示しております。
株式会社大日本科研では、露光装置の製造販売をメインに、設計・製作からメンテナンスまで一貫したサービスを行っております。創業からの露光装置販売台数も2000台以上となり、量よりも質に重きをおき、お客様のご要望に沿ってカスタマイズで露光装置を製造しておりますので、セラミックス、フイルム、金属向けの露光機も製造できます。露光工程に興味がある、または露光でお困りのお客様など、是非当社にお声がけください。
TGVウエハも展示いたします。(ご提供:ギガフォトン株式会社様/Hall2 小間番号2555)
・GaN、GaAs対応、マスクチェンジャー、2インチ~300mmまで各種取り揃え
・ウェハ、□基板両方に対応可能です。 ・自動平行補正機構により、マスクとウェハ間のプロキシミティギャップを高精度制御 ・同シリーズは累計600台以上の納入実績があり、ソフト含めた完成度に磨きがかかっており安定稼働いたします。