大陽日酸

品川区,  東京都 
Japan
  • 小間番号6437


13年ぶりに出展となりますので、是非お越しください!

昨今の半導体産業の盛り上がりと、半導体製造の日本回帰の潮流を鑑みて、この度13年ぶりに出展することとなりました。
これまでの歩みとともに、半導体産業のトレンドや社会課題など様々な「変化」に対する当社の取り組みついてご紹介いたします。

【展示内容】
・レアガス(Xe,Kr,Ne)の国内製造開始
・C2H2の72L容器開発、カットモデル展示
・IGSS(Intelligent Gas Supplying System)、C-drive展示
・CO2回収システム
・水素燃料を用いた排ガス処理装置Blisters Burner H2
・その他各種商材 


 出展製品

  • 排ガス処理装置 Blisters Burner H2
    水素ガスを燃料にすることで燃料由来の温室効果ガスを排出しない排ガス処理装置です。...

  •  CVD, エッチング, ALD, PVD, SiC-EPI, GaN-EPI ...等、様々なプロセスから排出される毒性ガス、PFCガス等の難分解性ガスを高効率で燃焼分解し、無害化します。内蔵スクラバーにて燃焼ガスの冷却および分解後に発生する2次生成物の処理を行います。

    処理流量に応じて、Blisters Burner H2 125 / 500 / 1000 の3タイプからご提案いたします。 ※水を使用しない空冷式もご提案可能です。

    ○特徴
    ・燃料の燃焼による温室効果ガスCO2の直接排出ゼロ
    ・高効率H2バーナーにより
    ・従来(化石燃料)比30~50%のエネルギー削減を実現
    ・軽微な変更で化石燃料仕様から水素対応仕様に変更可能

  • レアガス(Xe,Kr,Ne)の国内製造開始
    お客様へのレアガスの安定供給を確保するため、生産能力の増強とサプライチェーンの強化を目的に導入を進めてきたレアガス製造装置が完成しました。...

  • 現状、日本国内で使用されるレアガスは主に海外からの輸入に依存している状況です。

    日本国政府は、これらのレアガスを安定供給確保すべき半導体製造プロセスにおける品目と認識しており、このたび、経済安全保障推進法に基づき当社の「供給確保計画」が経済産業省の支援の対象として認定されました。

    当社では新たにレアガス製造装置を設置して国内生産を増強し、お客様に安定的にレアガスを供給する体制を構築してまいります。

  • CO2回収システム
    大陽日酸が新たに開発した10ton/日規模 二酸化炭素(CO2)回収装置です。 適用可能な原料CO2濃度範囲を拡大し、幅広いCO2排出源からの回収を可能にしました。...

  • 〇特徴

    ・石灰焼成炉などの中濃度CO2排出源から高濃度(98%)へ濃縮可能

    ・CO2分離特性に優れた吸着材と制御システムを採用したVSA

    ・少ない圧力変動幅により効率の良い運転を達成

    ・CO2の濃縮回収に加熱を必要とせず、熱源の無い排出源からも回収が可能

  • アセチレン72L容器の共同開発
    大陽日酸は関東アセチレン工業株式会社およびカンサン株式会社と共同で72L容器を開発しました。 今回の開発に合わせて72L容器用のシリンダーキャビネットも当社独自で開発し、各ユーザー様に安全にご使用いただける体制を整えており、今後の需要増加にも対応可能となっております。...

  • 〈取り組み〉

     日本国内では従来、41L容器が最大であり、高圧ガス保安法によりそれ以上のサイズは製造できず、海外からの輸入に頼っていました。この度法改正を行い国内初の高純度アセチレン72L容器の製品化を成功させました。

    〈半導体製造用途〉 

    ・カーボンハードマスク
    ・エッチング(側壁保護)

  • 次世代ガス供給支援システム IGSS
    IGSSは、重労働、危険作業、人手不足などのガス供給現場での課題を当社が持つガスハンドリングノウハウとデジタルテクノロジーを駆使して解決するシステムの総称です。...

  • IGSSは以下の7つの機能により高圧ガスに関するすべての業務を支援します。

    1.Ceyes -日常点検支援ツール
     高圧ガス保安法によって義務付けられている日常点検を、既にあるモニタリングシステムを活用して、数千点にも及ぶ点検項目をワンクリックで自動帳票化入力し、データベース化することで業務効率の向上を図ります。

    2. LUM system -容器管理 DB システム
     LUM system は、お客様工場内の容器管理業務を機械的に支援し業務効率化を図るシステムです。ガス消費予測 AI を搭載し、最適なガス発注タイミングを解析して在庫切れを未然に防ぎ、高圧ガスの在庫管理や保安業務の自動化を可能にします。

    3.UnacsⅡ tab -無線操作型シリンダーキャビネット
     従来の UnacsⅡの基本性能はそのままに、新機能としてタブレットによる無線操作を可能にしたシリンダーキャビネットです。

    4.Crecorder -オペレーションレコーダー
     シリンダーキャビネット上部にドーム型広角カメラを装備し、容器交換、異常、メンテナンスなどのイベントの常時録画を行います。

    5.TELEOS-i -高機能モニタリングシステム
     大陽日酸として 30 年前から 300 例以上の実績を重ねてきたモニタリングシステム TELEOS を全面リニューアルし、TELEOS-i として生まれ変わりました。

    6.Cdrive -容器自動搬送システム
     最大 100kg ある特殊ガス容器・一般容器を、指定場所へ運搬、容器を出し入れするシステムです。Cdrive 本体とシリンダーキャビネット底部にはローラーが追加され、その上で容器を受け渡します。

    7.SEQUM -設備保全システム
     ガス関連設備の保全管理と、増え続ける通信トラフィックの常時監視を担う補助システム。IGSSでつながっているガス供給設備、機器の台帳管理、交換部品の在庫可視化や交換時期目安の通知も可能。また、IGSSを使う上で必要なネットワーク・通信の状態を監視する。