ダルトン

中央区築地,  東京都 
Japan
https://www.dalton.co.jp/
  • 小間番号5237


Welcome to our booth!

今回のセミコンでは、下記装置の実機展示を行います。
・FOUP洗浄装置(Semtek社製)
・両面ブラシ手動スピン洗浄装置

技術的なご相談及びテストのお問合せも承りますので、お気軽にお声がけ下さい。

また当社は、リフトオフ・レジスト剥離装置、陽極酸化装置、スピンエッチング装置、バッチ式有機剥離洗浄装置、冶具洗浄装置、乾燥装置など、幅広い装置ラインアップを揃えております。

皆様の御来場をお待ちしております。


 出展製品

  • FOUP洗浄装置
    特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄および感想が可能です...

  • 台湾Semtek社製FOUP洗浄装置です。

    <装置特長>

    • OHT・AGV対応
    • フレームFOUPやFOSBと兼用可能
    • コンパクトで6軸ロボット未使用
    • 手動機から自動機まで対応
    • 洗浄室は真空チャンバー及び常圧チャンバーの選択可能
    • VOC、AMC(分子状汚染物質)、パーティクル、湿度の要求対応可

    <装置メリット>

    • 環境負荷低減(洗浄液は純粋のみ使用│他社製品に比べ純水の使用量が少ない)
    • 高い洗浄能力
  • 両面ブラシスピン洗浄装置
    CMP後洗浄に使用される洗浄装置です...

  • <装置仕様>

    • 筐体:PVC製
    • 対応基板サイズ:6~8インチ(段取り替え)
    • 処理枚数:1枚処理(PEEK材ピンテーブル)
    • ブラシ:両面処理(上・下) 材質:PVA
    • ブラシ回転数:100rpm(MAX)
    • ピン回転数:100rpm(MAX)
    • ノズル:薬液、二流体(純水+N2)、純水リンス
    • 乾燥:無し
    • 薬液供給/回収:ポリタンク 20L